大塚電子では、『その方法古くないですか？新しいインライン検査のスタイルがここに！』をテーマに、装置を展示・紹介いたします。 ぜひ弊社ブースにて実機をお近くでご覧ください。各種資料を取り揃えて、皆様のご来場をお待ちしております。 また、出展社セミナーもおこないます。お気軽にご参加ください。
半導体工場の膜厚ニーズに合わせたインテグレーション
● 300mm EFFMユニット予備portへのインテグレーションに対応 ● シリコン越しでもウェーハ内部の構造を確認し、測定位置を合わせることができるカメラモニターを搭載 ● 小フットプリント（500mm×500mm）
300mmウェーハに対応
● 1ポイント1秒の高速測定でストレスフリーな測定を実現 ● カメラ機能で見たい位置を狙ってパターンをアライメントすることが可能 ● 光学定数解析をサポートする楽々解析ウィザード機能を搭載 ● 測定シーケンスをカスタマイズ可能なマクロ機能を搭載