課題解決プラットフォーマー
材料開発、5G、パワーデバイス、CCW、IoT
材料開発に必要な加工（耐プラズマ性試験、合金成膜）をサポートします。
材料開発・・・耐プラズマ性試験、合金成膜、ナノインプリント加工
5G・・・AlN基板、LT/LN基板のパターニング加工
パワーデバイス・・・SiC、GaN基板のパターニング加工
IoTシステム構築に求められる「デバイス設計及び量産・通信・セキュリティ・データ処理」をトータルにサポートいたします。
＜IoTデバイス例＞
①装置トラブル状況の可視化/アラーミング機能追加
出展内容（予定）
◆CMP装置用パッドコンディショナーのトラブル検知モニタリングシステム
②IoTスターターキット・・・価格を抑えたシンプルなソリューション
出展/紹介内容（予定）
◆可動設備のカメラモニタリング
可動設備の撮影したい姿勢を登録し、定期的にその姿勢になった設備を撮影・データ保存
◆電流測定
設備の電流(交流)を測定→ データをクラウドにアップロード・保存
◆温度測定
任意の場所の温度を測定→ データをクラウドにアップロード・保存