ケニックス

姫路市,  Hyōgo 
Japan
http://www.kenix.jp/
  • 小間番号3335

 出展製品

  • 圧力勾配式スパッタ装置（PGSスパッタ）
    圧力勾配式スパッタ装置（PGSスパッタ）は、高レート・高品質成膜・低ダメージ成膜を実現したスパッタ装置です。...

    • 圧力勾配式スパッタ装置（PGSスパッタ）は、高レート・高品質成膜・低ダメージを実現したスパッタ装置です。基板圧力：10⁻²Pa以下で成膜することが出来ます。

Categories

206 太陽光発電装置
  • 薄膜
    • 207 装置、プロセス
  • エピタキシ装置：エピリアクター/分子ビームエピタキシ（MBE）/原子層エピタキシ（ALE）
  • 積層化：化学的気相成長（ＣＶＤ）/MOCVD/ PECVD/ LPCVD/ ALD/ REALD/ MVD
  • 積層化：物理的位相成長 (PVD)/ スパッタ/蒸着装置
  • 結晶成長および加工装置
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