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ウエハの形状測定でお困りのお客様へベストフィットするご提案をいたします。 是非ブースまで足をお運びください。
TAIKOウエハ形状測定システム・ニデック社製干渉計組込自動機をリリース。
小口径から大口径ウエハまで測定可能で、自重（外力）補正を行う真の形状測定をはじめとして様々なSEMI規格に対応する非接触形状測定システム【Dyvoce（ダイボス）】をご紹介。 また、形状測定のデータから成膜ウエハ・ベアウエハの応力を解析するソフトウェアも紹介。
ニデック社製干渉計を測定部としたCtoCｎお自動機です。
4~12カセット・オンライン対応可能で、高スループットが望めます。
ウエハのサイズ・材質を問わず、その厚さ・反りを測定することができ、インゴット形状、As Slice からパターン付きウエハまで、ウエハの各工程での対応も可能です。
導入への安全対応も、ISO12100に準じた設計のため、安全審査にも簡単に対応可能です。
成膜前後の反り形状データを読み込み成膜パラメータを入力すると、ウエハの面内の応力を解析・出力します。