株式会社コベルコ科研LEO事業本部は、光・電子・光学技術（Laser-Electro-Optics: LEO）を基盤に、シリコンをはじめ各種ウェーハの計測に不可欠な高精度の検査・測定装置を製造・販売いたしております。
主力装置は平坦度測定装置（TAIRAシリーズ）、エッジプロファイラー、ボウ・ワープ測定装置でございます。
本年のトピックは新型エッジプロファイラーで、精度、再現性を従来比大幅に改善することに成功し、このたび装置としてリリースいたします。
他に魔鏡、各種ソーターなど、様々なラインナップでシリコン、SiCをはじめ各種ウェーハ計測に関するお客様のニーズにお応えして参ります。是非、当社ブースにお立ち寄りください。