【温室効果ガス不使用、溶剤不使用、加熱不要 】
SDGsにも対応した新技術を多数展示予定！
・PFCガス不使用！個体ソースを用いたケミカルエッチング技術 ・触媒フリーで恒久的な親水親油、撥水撥油を実現！ ・有機溶媒不要！加熱不要！新開発の異種材料接合技術 ・熱的、電気的ダメージ無し！ボンディング向けプラズマ装置 ・プラズマプロセスを外部から監視！
など、他にも多数の製品・技術を展示致します！
従来はウェハのエッチングなどに環境負荷の高いPFCガスを用いておりましたが、本技術ではPTFEなどの個体ソースを、Arガスと組み合わせて用いることで、ケミカルエッチングを行います。
まだ開発したばかりの技術であり、共同研究に近い形でお試しいただくことになりますが、実用化されればPFCガスの排出を大きく減らすことが可能です。
当社では接着剤を使わず、光に影響されないほどの超薄膜を形成する技術を開発致しました。この技術は接着表面の特性をコントロールすることにより、異種材料であっても分子レベルで接合できるように致します。
当社の大気圧プラズマ技術は手で触れることも可能で、熱ダメージも電気ダメージもありません！
既にワイヤーボンディングや封止の前処理として生産でお使いいただいております。
プラズマプロセスは技術者が見れば正常・異常を判断出来ますが、これを機械化することで省力化、省人化しつつ、プロセスの安定化を図れます。