坂口電熱

■エミファイン ジャケットヒーター
脱着が簡単にでき、手軽で使いやすいため、配管(パイプ)ラインの加熱、真空装置のベーキング等、各種分野にご使用いただけます。

■エミファイン（断熱材）
ガラス繊維を使⽤した軽量で保温効果の⾼い断熱材料です。

◆⽤途
・バルブ、フランジ等の断熱、保温
・蒸気配管、熱交換器、反応塔類の断熱、保温
・輸送機器の断熱、保温
 ※エミファインは登録商標 6280005 号です。

■マイクロセラミックヒーターシリーズ
1000℃・600℃・500℃の対応品を取り扱っております。
アルミナ基板に高温耐熱性発熱体を高精度に印刷した小型のヒーターです。

■小型窒化アルミヒーター（ワトローウルトラミック）
セラミックの中でも抜群な高熱伝導率性を有する窒化アルミ基板により、急熱・急冷が可能です。
ヒーターにK熱電対を内蔵しているので温度感知特性が非常によく、安全にご使用いただけます。

■スーパーラピッドヒーター（最高使用温度600℃）
シリコーンラバーヒーターの発熱体を、耐熱性に優れたマイカ板の間に接着し、極薄状に一体成形したもので、熱板にはさみこんで使用する製品です。

■シリコーンラバーヒーター
厚さ1mm以下で柔軟性が自慢のフレキシブルタイプの面状発熱体です。
サミコン420（最高使用温度400℃）、サミコンスーパー340Ⅱ（最高使用温度300℃）、サミコン230（最高使用温度230℃）と多様な種類をご用意しております。

■サミコンポリイミドヒーター（最高使用温度300℃）
厚さ0.2mm以下のポリイミドフィルムで昇温レスポンスがよく、低アウトガスで真空使用も可能です。

■ミニマルレーザ水素アニール装置
東北大学 金森義明教授・産総研・（一社）ミニマルファブ推進機構との共同開発の水素アニール技術を基盤とした新技術を搭載しています。
参考動画（こちら）を公開しております。併せてご参照ください。

◇特長
　φ12.5mmウェハ（枚葉処理）
　コンパクトな筐体（幅約30cm）
　クリーンルーム不要
　低消費電力（定格AC100V 10A）
　超高真空対応（5 × 10 -5 Pa 以下）
　急速昇降温（1100℃まで2.5秒）
　安定した温度制御（1100℃±0.5℃）
　均一温度分布（ばらつき（σ/Ave.）0.5%）