CCTECH JAPAN

PRESTIGE IIはウェハの欠陥、露光時に発生するウェハー上のムラを同時に検出する半導体のウェハーマクロ検査装置です。カメラアングルを自由に設定することにより、明視野、暗視野の見れる範囲を可変にします。オプション機能により、１度の検査工程で、表裏、両方を検査を可能にし、目視検査から自動検査に切り替えることにより、人為的なミスを防ぎ、作業の効率化につながります。

• 高解像度仕様7μm、高スループット仕様38μmの画素分解能を用意、幅広い検査に対応
• 照明にRGB 3色LEDを採用、パターンに応じた最適照明
• カメラアングル可変式を採用、明視野～暗視野像の検査
• 欠陥検査とムラ検査が同時処理
• 6/8/12インチ対応
• オプション機能により、ウェハ裏面検査に対応

高品質、低価格を実現した水平式、Pick＆Placeタイプのハンドラ。標準の搬送から、外観検査の併用、SLTでの検査をした場合には別タイプのハンドラも完備。

• 対応パッケージ：
  • QFP/TSOP/CSP/WLCSP/BGA/QFN/PLCC/LGA/PGAなど
• スループット：9200 ~ 13400 UPH
• デバイスサイズ：3x3mm ~ 40x40mm
• ジャムレート：<1/10000
• 筐体サイズ：
  • C6430:1800x1450x1860(LWH)
  • C6800/6160:1960x1540x2000(LWH)
• 同時に外観検査を使用したい場合には、別ハンドラ、CFシリーズ。SLT対応をしたい場合にはCSシリーズを常備。

主な仕様。

• C言語による開発プログラムのため、ソフト開発が容易。専用言語の習得の必要なし。
• GUIでのテストパラメータを変更することにより用意にテスト環境の変更が可能。
• AWG（任意波形発生）サポート。
• 最大1000V、最大10Aの電圧、電流をフローティングVIにてサポート。
• 352チャネルのVIソースをサポート。
• 100MHz対応のDigital IOボードに対応。
• 16サイト同時テストが可能。
• 64スロットによるテストボードのサポート。

主な仕様

• 適合ウェハ

  • ウェーハサイズ：200mm,300mm

  • ウェーハ厚み：300～1250um

  • チップ・サイズ： 0.48mm～100mm

  • PADサイズ：>35um

  • 重さ：<0.3kg

• 適合カセット

  • 200mm：標準カセット

  • 300mm：FOUP、FOSB

• 適合プローブカード：カンチレバー型、垂直型

• ウェハロード方式：カセット、ウェハテーブル

• テスタ接続方式：ケーブル

• テスタ通信方式：GPIB

• MAPフォーマット：TSK MAP

• テスト温度範囲：常温~150℃

• テストチャンネル数：最大64サイト

• テストBIN：最大512

• 外観サイズ、重量：1620mm(W)*1240mm(D)*1400 mm(H)、約1450kg

• 警告ランプ：赤、黄、緑ランプ＋ブザー

• カセット保護カバー：静電防止カバー

主な仕様：

• 対応ワーク：携帯電話用カメラレンズなど、すべてのカメラレンズ
• チャート方式：３D
• 調製精度：±1.88um
• 調製時間：3秒
• チャート撮像回数：１~３回
• 位置調整回数：１~３回
• 焦点箇所：80か所以上