真空紫外から赤外領域まであらゆる測定波長のご要求に合った、様々なエリプソメーターをご紹介いたします
弊社は非接触・非破壊で薄膜やバルクを測定・解析する分光エリプソメーターの専門メーカーです。真空紫外から赤外領域までの広い波長範囲をカバーするさまざまな装置と、産業および研究分野での応用例をご紹介いたします。
●高速分光エリプソメーター(M-2000)：特許のRCE技術(回転補償子型エリプソメーター)で数百の波長を数秒間で同時解析できます。スピードと正確性が要求されるアプリケーションで理想的な装置です。
●自動多入射角分光エリプソメーター(VASE)：複数入射角によるデータの同時解析により真空紫外から赤外領域までを非接触・非破壊で薄膜解析できます。半導体・誘電体・ポリマー・金属・多層膜など、あらゆるタイプの物質を調べることのできる私たちの最も強力で汎用性の高いエリプソメーターです。
●簡易高速分光エリプソメーター(alpha-SE)：薄膜の膜厚と屈折率の測定なら、コンパクトなデザインの新型、alpha-SEがおすすめです。従来の大掛かりな装置ではなく、可能な限り小さくコンパクトにまとめました。理想的なテーブルトップの装置です。