エバテック社はスイスに本社を置くグローバル真空成膜装置メーカーです。世界に誇る精密機械加工技術のスイスで、70年前に生まれた真空成膜の老舗バルザース社の流れを脈々と受け継いでおります。日本での活動をより高めるため、昨年日本法人を設立しました。我々は昨今注目を集めているIOTの成長を可能にするキーテクノロジーにフォーカスし、パワーエレクトロニクス、MEMS（piezo‐AlScNなど含む）、無線・光通信、アドバンストパッケージング、光工学・オプトエレクトロニクスといった様々な分野でPVDによるソリューションを提供しております。
最先端技術への絶え間ない取り組み、お客様の多様なご要求にお応えすべく、エバテック社では深い基礎技術を保持するために継続した研究開発費を投じております。2019年3月にECL（Evatec Competency Laboratory）を開設し、バッチ式、クラスター式、インライン式の真空蒸着装置、スパッタリング装置、並びに先端技術の評価を可能とする測定器類を設置し研究開発、お客様へのデモンストレーション、フィールドサポート等様々な用途で活用する環境を整えました。
装置ポートフォリオとしては、BAK（真空蒸着装置）、MPS（縦型スパッタリング装置）、LLS（LL式縦型スパッタリング装置）、CLUSTERLINE®（枚葉スパッタリング装置）、CLUSTERLIEN®RAD（自動搬送、精密プロセスモニター機能を盛り込んだバッチ式スパッタリング装置）、SOLARIS（様々な基板に対応可能なインライン式スパッタリング装置）、HEXAGON（FOUP対応インライン式スパッタリング装置）、CLN-PNL（パネル用枚葉スパッタリング装置）と他社にない特色のあるプラットフォームを取り揃えております、お客様のプロセスや処理能力に見合うご提案を可能としております。
今回の展示会に際しては、モニターによる会社、製品紹介をさせていただきます。特に、弊社の特色のあるプラットフォームの一つであるCLUSTERLIEN®BPMならびにCLUSTERLINE®300Eのご案内に重点を置き、日本でのマーケットを切り開くきっかけにできればと考えております。
CLUSTERLIEN®BPMに関しては、お客様方の技術ロードマップに対して、業界最高効率のLED、最高の透過率をもつ近赤外のバンドパスフィルター、ユニークな機能を有するTC-SAWデバイスをもたらすことにお役立ちになれると考えております。
CLUSTERLINE®300Eに関しては、従来のスパッタリングのみに関わらず、エッチングモジュール、PECVDモジュール、またPEALDモジュールも搭載可能となり、より多彩なインテグレーションを可能といたします。
先ずは、会場で私たちのスタッフにお声がけください。