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膜厚分布測定装置「FiDiCa®（フィディカ）」
● 0.05μｍ～150μｍの薄膜全面の膜厚分布を、分光干渉法により短時間で測定します。
● 測定した膜厚分布はその場でカラーマップ、数値情報として電子ファイルに保存。
● 12インチ（300mm×300mm）サイズを 2,000 × 2,000 画素（ 約150μm メッシュ；約5分）で高解像度測定。
● インライン用連続測定では、1ライン2000点の膜厚を約10ライン/秒で算出可能。
● 半導体・電子材料・各種フィルム分野での商品開発・製法 開発・生産管理・品質保証に。
【概要】
本装置は、シリコンウエハ・ガラス・樹脂フィルム・金属などの表面の薄膜の厚さの2次元的な分布を、
短時間に高精度でパターンとして測定する装置です。
情報電子材料・半導体・機能性フィルムなどの製造では、素材の表面に生成あるいはコーティングされ
る酸化膜や樹脂膜の厚さが製品の性能と密接に関わることから、膜厚管理が非常に重要なファクタと
されています。
膜厚の測定手段としては、これまで光の干渉を利用した分光膜厚計が知られており、膜厚の「点」
としての測定と管理に利用されてきました。これに対し、昨今の成膜ラインでは、膜の均一製造に
対するニーズがとみに増大してきており、「面」としての膜厚測定装置が求められています。
弊社では、線状の領域の光スペクトルが同時に測定できるイメージング分光器を利用した
各種検査装置を製造・販売していますが、その分光カメラを用いて測定対象を一方向に移動させながら
表面の薄膜の分光スペクトルを「面」として一度に測定し、画素毎のスペクトルを解析することにより
膜厚の分布を高解像度かつ高精度で測定する装置を実現したものです。
1台の装置で 0.05μｍ～20μｍまたは1μｍ～150μｍの膜厚分布の測定に対応します。
シリコンウエハ・ガラス・樹脂あるいは油膜、水膜など、さまざまな対象への適用が可能です。
これまで「点」で評価せざるを得なかった膜厚が「面」として観察できる特長を活かして、
”製造条件や加工条件の違いによる膜厚分布の微妙な変化の把握”
”膜厚分布と製品の性能の関連性の評価”
”生産現場での製品の品質管理・品質保証”
などへ幅広く活用できます。