特長
<3100シリーズ>
・真空対応チャンバーおよびN2ロードロック搬送を標準搭載。高いスループットを実現。
<4100シリーズ>
・チャンバおよび搬送部に真空ロードロックを標準搭載、より低酸素濃度雰囲気での処理を実現し、高いスループットも実現(タクトタイム当社従来比:33%削減)
<両シリーズ>
・SiCやGaNウェーハ向けにサセプタ自動載せ替え機能搭載
・上下ともハロゲンランプをクロスに設置
・6ゾーン制御で簡易に各々のパワー比率が設定可能
・放射温度計により非接触でワークの温度を測定し、フィードバック制御が可能