English - 英語
芝浦メカトロニクスグループの新しい技術をご覧いただきたく、ご来場をお待ち申し上げております。
芝浦メカトロニクスグループではフォトマスク製作工程・ウェーハ製作工程・デバイス工程向けの各種製造装置を最先端からレガシー装置まで取り扱っています。また、メンテナンスや中古装置販売のサービスも行っており、幅広くお客様のご要望にお応えできると思います。パネルや動画による各技術やサービスのご紹介、パンフレットの配布等を予定しておりますので、是非とも弊社ブースへお越しください。
また、芝浦エレテック(株)は「心と技術で未来をつくるサービス会社」として様々な協力会社様と連携し、ワンストップサービスを提供しています。
≪特⻑≫
◆ウェーハ製造の洗浄に多数の実績
◆1～8ch多様なチャンバー構成
◆研磨機とドッキングして処理が可能
◆次世代乾燥適用によるパターン倒壊抑制
◆高精度な芝浦独自の高温薬液濃度・温度制御方式
◆3～12インチ対応
◆受託加工対応
◆複数プロセス（プラズマダメージ層除去、スムージング、エッチバック/リセス、残渣除去）
◆最大4つのプロセスチャンバー組合せ
◆次世代EUV対応（新型プラットフォーム、新型チャンバー）
◆微小異物に対する高い除去性
◆薬液ダメージフリー
◆物理ダメージフリー