芝浦エレテック

キノシステム^®は、「直感性」と「拡張性」をもち、「スムーズな導入」が可能です。

当社の豊富な製造・リノベーション・メンテナンスの経験と知見から、生産・製造管理をバックアップいたします。

本展示会出展品の『XiNOデータロガー』は、リファレンスとの比較機能に重点を置いた製品です。

その他のご要望にもフレキシブルに対応いたしますので、カスタマイズで様々なことが実現可能です。

作業者がハンドツールを用いて移し替えていた従来の工程を自動化します。

〇自動化することで、手作業でのリスクが低減できます。

　・掴み損ねによる落下やキズの付着、ペリクル膜の破損

　・人から発生するゴミ、汚れの付着

　・人から発生する静電気によるパターン回路の破壊

〇シンプルな操作でカセット間レチクルの移し替えを安全・確実に行います。

〇ご要望に応じ、カスタム対応します

　・各種ケースへの対応

　・レチクルサイズの変更

　・ブロー機能追加　　　　　　etc.

従来のマスフローコントローラの課題
　•デポガス、腐食ガス（Cl2, SiH4等）による目詰まりや0点ずれを防ぎたい
　•マスフローコントローラのリークをなくしたい
　•より精度の高い流量制御を達成したい
　•マスフローコントローラで0.025sccmを制御したい
　•マスフローコントローラの応答性を改善したい
　•ガスを高速に切り替えるプロセスへ対応したい
　•上流側圧、下流側圧の変動によるプロセス影響を改善したい
　•ガス流量問題発生時、プロセス装置側、マスフローコントローラ側か原因を切り分けたい
　•マスフローコントローラの機差を改善したい
　•プロセス装置のガスラインを増やしたい
　•マスフローコントローラの在庫数を減らしたい etc.

ガスフローコントローラで課題を解決！
　•広範囲な流量レンジ
　　⇒ Full Scale 0.5～100%
　•高精度な流量制御
　　⇒ Set Point +/-0.5%
　•高速な応答性（立ち上り/立ち下り速度）
　　⇒ ≦100ms@10-100% Full Scale
　　⇒ ≦300ms@0.5-10% Full Scale
　•圧力/温度変動の影響を受けない
　　⇒ キャリブレーション不要
　•リアルタイムモニタリング機能
　　 ⇒ 30種以上の内部情報をリアルタイムでモニタリングし、
　　　  情報のアウトプット、自己診断機能搭載