顕微画像分光法による、透明多層膜の膜厚分布を可視化できる膜厚モニタです。
顕微鏡視野内の任意領域を、ミクロン以下の空間分解能と以下の膜厚分解能で透明多層膜の膜厚分布を可視化でき、微細パターニング後の膜厚分布の測定・管理に有効です。
また、微細なトレンチや段差など凹凸のある複雑な構造や荒れた膜を測定することが可能です。
【概要】
Imaging Spectroscopic Reflectometerは、波長可変光源とデジタル顕微鏡を組合せ、顕微鏡視野の全領域の分光反射スペクトルを同時取得可能な装置です。
従来のシングルポイント式の顕微分光装置と比較して以下のような特徴を有します。
- 低倍の対物レンズを使用すると５mm□以上の領域測定が可能です。これは、電子素子のダイサイズに相当し、波長ごとの反射特性の変化からマクロ検査のようにQC管理を行うことが可能です。また、データ取得後アライメント処理を行い、複数の特定点の膜厚、膜質、構造情報を分析することが可能です。
- 高倍の対物レンズを使用すると1um以下の領域測定が可能です。その微小領域内の平均スペクトルを取得することで、高精度の内部構造の分析が可能になります。具体的には、対物レンズの光学分解能0.5um領域のセルエリア単位で、スペクトルの比較、判定が可能になります。
【取り扱い可能な膜構造】
