前工程から後工程まで、 最先端プロセスとレガシープロセスの２極化を支える搬送システムソリューション
微細化を支える搬送システムソリューションとして、真空プラットフォームやN2 EFEM、ソーターをはじめ、N2パージ300mmFOUP対応ロードポート「SELOP-8」や「Tape Frame FOUP対応ロードポート」など、最先端プロセスを支える様々な搬送機器をご紹介いたします。また、レガシープロセスに対応する300/200mm自動切り換え機能を搭載した「SELOP-7」をはじめとした豊富なロードポートのラインナップをご紹介いたします。
・高い信頼性と豊富な実績
300mmロードポートは全世界の前工程ラインにて稼働中
・パーティクルフリー
・SEMI規格対応
・CID搭載可能（オプション）
・アダプタ搭載でオープンカセット対応可能（オプション）
・高信頼性、出荷実績No.1のロードポートSELOPシリーズを搭載
・パーティクルレス
・高スループット
・SEMIスタンダードソフトウェア（GEM300対応）
・省フットプリント
・豊富なバリエーション（2x2、3x3、4x4ポート）
・面振れ/軸振れ精度向上
・ビルトイン対応
・真空対応
・用途に応じて、エンコーダを選定可能（インクリメンタルエンコーダ/アブソリュートエンコーダ）
・特殊ベアリング搭載