半導体上の微細な構造物からなるMEMSの設計とその周辺回路や他半導体チップや部品の実装を支援し、MEMSモジュール設計を総合的に支援するCADシステムです。
現状のMEMS設計環境は、MEMS設計/検証、モジュール設計/基板設計の工程ごとに、パッケージ設計ツールやPCBレイアウトエディターなど、さまざまな異なるツールを組み合わせて設計しています。そのため、設計者は多種多様なツールを使いこなさなければならないだけでなく、異なるツール間のデータ連携が設計者の大きな負荷となっています。
MEMS設計環境に図研の「MEMS Designer」を適用することで、同一プラットフォーム上でMEMSモジュール設計の統合環境が実現できます。これにより、半導体内部の微細な機械構造データの高速な描画編集、メカ部品や電子部品を含めた高精度なモジュールの設計検証、MEMS/モジュール/PCBの異なるレイヤ間の協調設計と解析連携が可能となります。