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カスタマイズが可能な、高速３次元測定装置を提供いたします。
３次元のハンダフィレット測定装置をデモ展示致します。
本装置は色収差共焦点原理を用いた高精度の超高速センサーにより、最大 6,000 ライン/秒の測定速度で、最大 100 万ポイント/秒（ＨＳタイプ）を超える測定が可能です。大面積を短時間で検査測定する事が可能になります。測定ワークも選ばず鏡面でも測定可能で、センサーの入射光と検出光は同じ経路をたどるためシャドーイングを無視出来るので複雑な形状でも正確に測定できます。レンズ交換も短時間で可能です。卓上機から、全自動型インラインにも容易に対応致します。設置面積が小さい角度付きセンサーバージョンも選べます。
本装置は色収差共焦点原理を用いた高精度の超高速センサーにより、最大 6,000 ライン/秒の測定速度で、
最大 100 万ポイント/秒（ＨＳタイプ）を超える測定が可能です。大面積を短時間で検査測定する事が可能になります。測定ワークも選ばず鏡面でも測定可能で、センサーの入射光と検出光は同じ経路をたどるためシャドーイングを無視出来るので複雑な形状でも正確に測定できます。レンズ交換も短時間で可能です。卓上機から、全自動型インラインにも容易に対応致します。設置面積が小さい角度付きセンサーバージョンも選べます。
圧倒的な分解能を誇ります。今まで隠れていた微少な現象を測定致します。サイズは、わずかで奥行き幅、共に１５ｃｍの
超小型ＡＦＭで、プローブ付きで宅配便の混載でも大丈夫です。
今までの装置は、大変高価で、装置も大きく、取り扱いが大変でしたが、小型低価格を、実現いたしました。
プローブもカーボンナノチューブを用いる事で、交換頻度も従来の１／１００のです。（別紙参照）
測定サンプルサイズも標準でφ３００ｍｍですが、ＦＰＤなどの大型基板にも、対応いたします。
ワイヤー高さを測定する３次元画像処理部とワイヤー曲がりやボール形状を測定する高解像度の２次元画像処理部の２ステーションで構成されます。２次元画像処理部と３次元画像処理部は交互に動作させ、画像処理PCは２台です。カメラは全て固定で機械装置は基板を移動させます。
検査に、スーパーマクロ、微分干渉、暗視野、透過の４つ光学系を持ち、全ての光学系にオートフォーカスを
持ち、自動ステージにより同じ座標系での検査が可能です。
オプションで、同じ座標系に、ＡＦＭやウエハー厚さ測定を載せる事も可能です。