IoT時代に対応した触覚センサ・デバイス，誘電・導電性の複合変化を評価する新しいセンサ・イメージング技術を提案します．
本研究室では，産業用途のセンサ・デバイスや生産技術の研究開発を実施しております．各部署でお抱えの課題の解決についてNDAを結び調査研究もいたしますのでお気軽にご相談ください．
１：人の感性を数値化する半導体MEMS触覚・光・温冷覚コンボセンサおよび摩擦・振動複合触覚呈示デバイス
特徴：接触荷重ベクトル、光反射による近接・色、伝熱による温冷差を一つの小型デバイスで計測可能
想定される応用例：産業用・協働ロボット，製品触感や手技の数値化・呈示など
２：非接触/非破壊型複素容量センサおよびイメージング技術
特徴：誘電率，導電率の同時評価，スポットでの検出とイメージング
想定される応用例 エッチングの終点検出，エマルジョン・コロイド粒子の安定性，セメント劣化度の数値化，土壌の含水性・多孔質度の評価，食品鮮度や品質，塗料・接着剤・皮膚などの乾燥状態評価など
３：特殊金属，難加工材料のMEMS加工技術（Ti合金，Ta，Nb,Moなどの特殊金属, ガラス，水晶など）
想定される応用例 機械的・化学的耐久性が要求される用途のマイクロセンサ，アクチュエータおよび部品の試作