Welcome to our booth!
今回のセミコンでは、下記装置の実機展示を行います。 ・高圧ジェット式 全自動リフトオフ装置 ・バッチ式エッチング装置 ・剥離装置 ・スピンコーター搭載ドラフトチャンバー ・溶剤再生装置 技術的な相談及びテストの相談も承りますので、お気軽にお声がけ下さい。
また当社は、陽極酸化装置、スピンエッチング装置、バッチ式有機剥離洗浄装置、冶具洗浄装置、乾燥装置など、幅広い装置ラインナップを揃えております。
皆様の御来場をお待ちしております。
高圧JET機構を有し、JET処理のみで剥離が可能であるウエハーに最適。 バリが出にくいウエハー向け。 オプションでメガソニックシャワー・パドル機構に対応。
ぜひ弊社ブースで実機稼働の様子をご覧ください。
全自動 酸・アルカリエッチング（洗浄）装置 手動 酸・アルカリエッチング（洗浄）装置 RCA洗浄装置
前面搬送機タイプ・背面上部搬送機タイプの他、お客様のニーズに合わせ上部搬送機タイプ、背面搬送機タイプにも対応できます。 キャリアレス搬送式、キャリア搬送式、キャリアハンガー搬送式など、コストに合わせてお選びいただけます。
その他特長についてはぜひ弊社ブースでご確認ください。