日本ベーカーヒューズ

中央区,  東京都 
Japan
http://Druck.com/jp
  • 小間番号5533


ベーカーヒューズ(旧GE)から圧力計測のパイオニア・ドラックと分析計&流量計のパナメトリクスが出展いたします。

ドラック事業本部:Druckからは半導体用の圧力ソリューションをご提案。製造装置、サブシステムの圧力制御用のセンサー、圧力検査用の校正器を展示予定。圧力コントローラPACEは現在高需要に沸くMEMS圧力センサーの校正試験の自動化に、多くの引き合いをいただいております。ブースで実際の校正作業を体験していただければ、その操作性と制御の速さを実感していただけます。

パナメトリクス事業本部:Panametricsの分析計は半導体工場で多数実績があります。マルチチャンネルタイプの微量水分および微量酸素を連続測定可能な分析計およびトランスミッタ型の電気化学式酸素計をご紹介します。また、工場のユーティリティで配管を切断することなく使用できるクランプオン式超音波流量計もデモを交えてご紹介します。


 出展製品

  • 【校正デモ実施予定】圧力コントローラPACE
    高精度・高速応答性・長期安定性の三拍子揃った圧力コントローラ、PACシリーズ。圧力校正の自動化プログラム、各種試験オプションなどがタッチパネルで簡単に設定できます。モジュール式で幅広い圧力範囲に適応できるので、半導体装置、MEMS圧力センサの製造ラインに導入してコスト削減に成功した事例多数。 ...

  • 【仕様】

    〇ゲージ圧力レンジ:2.5kPa~21MPa(負圧校正標準)
    〇通信:RS232、USB、IEEE-488、SCPIほか(モデルにより異なります)
    〇電源:AC90~130V、AC180~260V(47~63Hz)

    【用途】

    〇品質管理室の圧力基準に(重水式からの置き換え)
    〇試験プログラム例:スイッチ試験、リーク試験、試験プログラム、バースト試験等
    〇PACE5000はシングル、6000はデュアルチャンネルです

  • 【新製品】デジタル温度補正機能搭載圧力センサADROIT
    半導体製造装置 ・温熱空調など幅広いアプリケーションに対応可能です。温度変化の激しい環境でも安定の高精度、まさに究極の圧力センサです。...

  • 今年登場の新製品。デジタル温度補正機能を搭載したアナログ圧力センサ。温度変化の激しい環境でも精度の高い圧力センシングが可能です。VCR継手に対応。
  • 【3つ圧力値を同時表示!】圧力インジケータ PACE1000
    【生産ラインの圧力計測もこれ一台】3つ圧力値を同時表示!ゲージ圧と大気圧を同時表示できる高精度の圧力インジケータです。マルチチャンネルに使えて、検査ラインの圧力校正の効率化ができます。 【ポータブルに使うなら】 DPI705E、800シリーズが便利です!...

  • 外部センサーポートは標準2つ、最大3つ接続可能。画面上で再生可能なデータロギング(標準)。複数の圧力モニタが可能なので検査工程のコストダウンが可能です!

    【PACE1000の主な仕様】

    ○100 MPaまでの圧力レンジ
    ○0.005% FSまでの各種精度
    ○0.01% rdg/年までの安定性

    【用途】

    〇温度調整機材、空調機器の生産ラインの圧力検査工程で自動圧力調整の安定化と生産コストの削減を同時に実現
    〇水銀柱やアネロイド気圧計からの置換​デジタル化に
    〇複数の圧力モニタに
    〇​校正返却の簡便化(維持費の削減)
    〇大気圧測定に

    【最新型ポータブル圧力インジケータDPI705E】

    DPI705E:最新型ハンドヘルド圧力計。オプションで温度計もつけられます。高精度且つ強靭 かつ堅牢な設計。
    • ±25 mbar ~ 1,400 bar (2.5 KPa ~ 140 MPa) 間で 48 の 圧力レンジ
    • 温度範囲 -10°C ~ +50°C で、0.05% フルスケール (FS) まで の 1 年間の総合精度 。
    • 校正に必須な校正記録および期限までのカウントダウン表示
    • ハイコントラスト表示バックライト付きの堅牢なハンドヘルド 設計
    • リークテスト、風袋、最大/最小およびフィルタ機能 • 危険場所(海外本質安全防爆)
    • オプションのリモート式プラグ アンド プレイの圧力および測 温抵抗体(RTD) センサー
    • オプションの空圧式ポンプと液圧式ポンプ

  • 【半導体製造装置の流体制御に】各種圧力センサ
    半導体製造工程においてはプロセスガスの高精度な流量制御が不可欠です。厳しい条件下で高いパフォーマンスを発揮する各種圧力センサ、カスタマイズできるモジュール機能などをご提供しております。...

  • ■UNIK5000: 汎用性の高いアナログ圧力センサ。VCR継手に対応。
    ■TERPSシリーズ: ドラック最高峰のシリコン・ピエゾ方式を採用した高性能圧力センサ。大気圧測定にも最適。VCR継手に対応。
    ■DPS5000シリーズ:デジタル圧力センサ。
  • 実績の高いパナメトリクスの分析計&水分計
    Panametricsの分析計は半導体工場で多数実績があります。マルチチャンネルタイプの微量水分および微量酸素を連続測定可能な分析計およびトランスミッタ型の電気化学式酸素計をご紹介します。また、工場のユーティリティで配管を切断することなく使用できるクランプオン式超音波流量計もデモを交えてご紹介します。...

  • マルチチャンネルタイプの微量水分および微量酸素を連続測定可能な分析計
    Panametrics moisture.IQ

    水分、酸素の各センサーを最大6つ接続可能です。一例として、N2,O2,Ar,H2,He,DAの水分・酸素濃度を1台で監視・制御することができます。水分センサーはオプションで温度や圧力センサーを組み込むことが可能で、これらのセンサーからご希望のパラメーターに演算することができます。本体アンプには、マルチパラメーターが表示可能なカラーディスプレー、外部出力としてアナログ出力(12CH max)、リレー出力(12CH max)、デジタル通信機能が搭載されています。ロギング機能を搭載しており、収集したデータをUSBポートから外部メモリへ取り出すことが可能です。

    トランスミッター型の電気化学式酸素計
    Oxy.IQ

    従来モデルに比べ小型で装置組み込みに最適です。手のひらサイズの小型であるにも関わらず、表示器やプログラムキーを搭載しており計測結果や診断パラメーターの確認、設定変更などを行うことができます。センサーは低濃度用(PPM)と高濃度用(%)、それぞれに一般ガス用と酸性ガス用があり、4種類の中から最適なセンサーを選択することができます。電源は9~24VDCの2線ループ式で9V電池での駆動も可能です。