流量コントローラFCA6000シリーズには超音波流量計変換部を内蔵しており、流量センサとコントロール弁の組合せでコンパクトなシステムを構成できます。
· コントロール弁：FCVシリーズ
· 超音波流量計検出器：UCUFシリーズ
· 流量コントローラ：FCA6000シリーズ
流量センサ・コントロール弁のラインナップの充実により広範囲の流量制御が可能です。また、プロセス接続部の流量センサ・コントロール弁と計測・制御部を分離することで、安全性を向上し、自由なレイアウトを可能としています。
半導体プロセスをはじめとする各種薬液の高度な流量管理等に最適です。