レンズ倍率に関わらず垂直分解能は一律 0.01nm 。 測定範囲の広い低倍率レンズでサブナノレベルの表面粗さを測定可、ウエハ・金属表面はもちろん、透明ガラスの表面や黒色ゴムまで、種々の表面性状が測定可能です。
最新のJIS/ISOパラメータに対応、粗さ測定機の専門メーカーとして、信頼できる測定結果をご提供いたします。