■ウェーハの最外周部の寸法・形状精度を再現性良く形成するために、
高精度な溝成形技術に加え、ベース自身にも幾何精度の向上を
図るための加工技術を併せて開発
■チッピング、スクラッチの発生や加工ダメージを抑えるために独自の
砥粒管理を行ったダイヤモンド砥粒を使用
■独自の砥面コントロール技術「AD-コンディショニング」により、
作用砥粒数を増やすとともに砥粒の突出し量を均一化することで
加工品位と寿命を改善
※お客様によるドレッシングに関するご相談(ドレススティックの選び方や
方法)や最適なツールのご提案をさせていただきます。