東京ダイヤモンド工具製作所

■ウェーハの最外周部の寸法・形状精度を再現性良く形成するために、

　　高精度な溝成形技術に加え、ベース自身にも幾何精度の向上を

　　図るための加工技術を併せて開発

■チッピング、スクラッチの発生や加工ダメージを抑えるために独自の

　　砥粒管理を行ったダイヤモンド砥粒を使用

■独自の砥面コントロール技術「AD-コンディショニング」により、

　　作用砥粒数を増やすとともに砥粒の突出し量を均一化することで

　　加工品位と寿命を改善

※お客様によるドレッシングに関するご相談（ドレススティックの選び方や

　　方法）や最適なツールのご提案をさせていただきます。

■超音波振動を援用した高効率な研削加工を実現するために
　　共振振動を効率よくワークに伝える工具を開発

■超音波援用加工の特長を活かした加工効率の最大化を目指し、
　　仕様の最適化をはかることで切れ味と耐摩耗性の両立を実現

■従来製品に比べ、砥粒の上滑りが少なく、ワークへの良好な食いつきを実現

■PCD のシャープな切れ刃を形成することで、
　　単結晶シリコンプレートへの高送り条件下（ 0.005mm/rev ）の
　　穴あけ試験において1,500穴以上を実現

■通常の送り量においては、適正なPCD 材質を選定することで、
　　9,000穴以上を実現

■刃径φ0.4～φ2のドリルをご提供

■ワークへの食いつき性を最大限に高めるため、従来よりも
　　大きな気孔径と高い気孔率を両立

■大口径の気孔を均一に分散させることで、目詰まりの抑制、
　　冷却効果の向上がはかられ研削能力が継続

■砥粒先端圧力を高め、滑りのない研削状態を維持できるため
　　加工中の砥石軸電流値のピークの発生と加工負荷自体を抑制

■良好な切味により、ドレスによるパッド表面の
　　気孔周縁部に発生するパッドのバリを抑制することで、
　　研磨中の目詰まりによる研磨レートの低下を抑制

■ドレッサの切削力を効果的に伝えるためにパッドの
　　材質に適した電着のパターニングをご提案

■切削作用の高い砥粒選定や従来品に比べて圧縮応力を
　　高める電着デザインの採用により高ドレスレートを実現