東京ダイレック

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• 小間番号3435

製造工程、装置内のシングルナノレベルのコンタミを見極める！ CMPスラリー・高分子サンプルなどの溶液を高分解能個数評価を！

　弊社は、特徴的なナノ粒子発生及び計測技術により、気中および液中微粒子に対するシングルナノレベルからの測定を提案致します。

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【アプリケーション】

液中微粒子評価（CMPスラリー、金属微粒子、ポリマー）

最大粒子径範囲：2.5 nm-1000 nm

多分散系系のサンプルの評価や、シングルナノレベルの粒子にも高い精度で評価

気中コンタミネーション評価（浮遊微粒子、配管内粒子）

最大粒子径範囲：1.1 nm-3000 nm

半導体製造装置内、バルブ、流量計など様々な場所からの発塵をリアルタイム測定

液中コンタミネーション評価（IPA、過酸化水素水、洗浄液）

最大粒子径範囲：5 nm-1000 nm

再現性コンタミネーション評価が可能。液中フィルタの効率試験への応用へ

【特徴】

✔粒子分級×個数濃度評価

多分散サンプルに対応可能になり、個数評価による粒子の存在比率の解明

✔モビリティ径評価による高い再現性

　・粒子の電気移動度から粒子径を評価　　・粒子の色や形状による誤差を低減　　・非常に高い再現性

👉ウエハ表面検査

集積回路(IC、LSI)は現在、数ナノ～数十ナノメートルという非常に微細な線幅の回路を有しています。ウェハ製造や回路製作において、パーティクル（＝異物付着）を極限まで低減させることが半導体製造プロセスに求められます。
表面検査装置における精度確認をナノメーターレベルから評価する計測器や、模擬的にナノ粒子を発生する装置などをご紹介致します。

[資料]：https://www.t-dylec.net/wp-content/uploads/2021/11/Wafer-surface-inspection-and-cleaning-performance-test_2021.11.22.pdf

👉製造装置内の発じん測定

LSI製造プロセス中の製品歩留まりを向上させるためには、製造装置内からの発じんをリアルタイムにかつ、高精度に検出することが一つの対策となります。
そこで、最小2.2nmからのナノ粒子をリアルタイムにモニタリングできる凝縮粒子カウンター(CPC)を使用することが有効と考えられます。さまざまな種類のCPCラインナップから用途に合ったタイプを提案いたします。

[資料]：https://www.t-dylec.net/wp-content/uploads/2021/11/Contamination-measurement-in-semicon-manufacturing-systems_2021.11.22.pdf

👉クリーンルーム

一般的にクリーンルームの清浄度を評価するためのパーティクルカウンターで、クラス1及び2（ISO-14644-1)に対応したモデルから、低コストで小型のパーティクルカウンターまで幅広いラインナップの計測器ををご紹介致します。
また、その他にもさまざまな計測ニーズに対応致します。

👉半導体ガスフィルタ

SEMI F39-0699（化学薬品混合システムに関するガイドライン）で規定された半導体用ガスフィルタにおける捕集効率試験に対応した機器をラインナップしております。 計測器に関するご相談や、計測法などに関しましてもご相談ください。

[資料]：https://www.t-dylec.net/wp-content/uploads/2020/11/filter04_202011.pdf

👉スラリ/研磨剤

半導体の加工工程で必要となる研磨剤に要求される微細化をより高い精度で管理するためには、ナノメーターレベルの粒子を高い精度で計測する技術が不可欠です。
従来の動的光散乱法を使用した粒度分布測定装置などでは測定が難しい、シングルナノメーターの領域における粒子個数濃度評価が可能な計測手法を紹介致します。

[資料]：https://www.t-dylec.net/wp-content/uploads/2021/04/LiquiScan210330.pdf

👉過酸化水素水/IPA

半導体製造工程で使用される洗浄液などの薬液によるコンタミネーションの問題は、キラー欠陥などの原因になります。そのため、過酸化水素水/IPAなどの溶液に混入してしまったより小さな粒径のコンタミネーションを管理することが求められています。
DMA法を用いた計測技術により、ナノバブルに影響のされない20nm以下のナノ領域の粒径分布計測を可能にし、コンタミネーションの問題の改善に役立つと考えられます。

[資料]：https://www.t-dylec.net/wp-content/uploads/2021/11/Aqueous-hydrogen-peroxide-and-IPA-evaluation_2021.11.22.pdf

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