東フロコーポレーション

日野市,  東京都 
Japan
http://www.tofco.jp
  • 小間番号5130

私たちは流量計測器の専門メーカー「株式会社東京フローメータ研究所」として1973年に創立、以来30年を越えて流体制御技術をコアとする計測器及び周辺機器、熱交換器、環境機器など、多様化する産業界のさまざまニーズに応えてまいりました。
本展示会は、半導体プロセスの更なる効率化、品質改善に貢献する各種製品をご紹介いたします。

主な出展製品：フローコントローラ、フローコントロールバルブ、電動比例制御バルブ、各種流量計

 出展製品

  • フローコントロールバルブ FCV-Cシリーズ
    外部の流量計から現在流量情報を受け取り、設定した流量に自動制御を行うフローコントロールバルブです。...

    • 特長

    • 設定流量値と外部からの流量情報を比較しフィードバック制御
    • 高性能ステッピングモータ採用＆高分解能化処理
    • シリアル通信機能搭載(Modbus RTU方式、最大32連)
    • 設定流量値の指示方法選択可能(アナログ信号入力またはシリアル通信)
    • 高速な制御応答性(C40型 : 約1秒、C60/C80型 : 約2秒)
    • 高速なバルブ全開動作(C40型 : 約0.3秒、C60/C80型 : 約1秒)
  • 超音波流量計 USF500Sシリーズ
    DSP機能を搭載し、安定性・応答性・耐気泡性を向上した新しいUSFシリーズ。...

    • 特長

    • 脱着式ケーブルで配線作業が容易
    • 高温流体対応可能(Max. 200℃、高温仕様)
    • マルチ通信(最多31台連結可能)
    • 流体情報を設定することで粘性や温度の変化によって発生する精度ドリフトを 任意で軽減可能
  • フローコントローラ FLC4000Rシリーズ
    微少域での流量制御を目的に開発された純水／薬液対応のフローコントローラです。 本体は流量センサと制御バルブ、電装部で構成され、流量調節、瞬間流量表示、外部出力など 多彩な機能を装備。 動作に必要な条件設定は全てフロントパネルのキースイッチで操作可能。...

    • 特長

    • 流量制御に必要な全ての機能を専用コントローラとして開発搭載しました。
    • 接液部は全てフッ素樹脂にて製作されており耐薬品性を向上させました。
    • 接液部はエアー制御弁と超音波流量計のみのシンプルな構成。  
  • 電動比例制御バルブ FCV-M/MCV-Mシリーズ
    高分解能を実現。精密な温度制御が可能。...

    • 特長

    • 有効作動分解能：約3400(他社製品目安300～800)  
    • 耐久性約３倍(当社比 約３倍に向上)  
    • 当社集合配管ユニット「トフパイン」に連結可能  コンパクト設計  
    • 全閉から全開まで約6secの応答性  
    • 歩留まり向上、不具合原因追及に貢献  
    • 熱を逃がさない固定ブラケットを用意(オプション)  
    • 選べるOリング材質

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