東横化学

川崎市中原区, 神奈川県
Japan
http://www.toyokokagaku.co.jp

お客様のニーズにお応えするトータルガスマネジメントのサービス・ソリューションをご紹介いたします。

日々変化し続ける社会に対応すべく「品質」「安全」「技術」「環境」の4つの切り口で「ガスの入口から出口まで」お客様のニーズにお応えするトータルガスマネジメントのサービス・ソリューションをご紹介いたします。

【注目商品】
①液種判別センサ「ES-5000シリーズ」（新商品!!）
②液体材料気化供給設備
③ガス濃度計「BGA244シリーズ」
④SiCパワーデバイス用超高温熱処理装置「Ailesicシリーズ」（業界シェアNo.1!!）

【取扱製品】
・APTech社製プロセスガス用圧力調整器・バルブ
・CMP用スラリー供給装置
・液体材料供給装置「ANESYSシリーズ」
・ALD装置
・ガス回収装置　他多数

液種判別センサ「ES-5000シリーズ」

耐屈曲光ファイバーを採用した新しい検知方式による液種判別センサです。... More Info Less Info

既存の漏液センサは、何が漏れても漏液という判断しか出来ませんでしたが、液種判別センサは液種の判別が可能となります。
また検知部に光ファイバーを用いる事で、防爆エリアへ完全対応する事が可能となり、油・ガソリン類、発火の危険性がある液体、場所での使用が可能となります。

液体材料気化供給設備

エピタキシャルシリコン成長装置向け、トリクロロシラン気化供給装置です。... More Info Less Info

蒸発器と凝縮器から構成される単蒸留装置です。
精密な定圧制御装置を付加し高度に濃度制御されたトリクロロシラン/水素混合ガス(TCS/H2)を発生させます。

<特徴>
・1～3chへの安定供給が可能で、それぞれ任意のタイミングで稼働させることができます。
・18～32％TCS/H2で任意に濃度設定が可能です。
・濃度安定性が非常に高く、Epi成長速度がバッチ間で安定します。
・圧力容器とならないコンパクトデザイン。
・少量危険物基準以下

ガス濃度計「BGA244シリーズ」

2成分ガスの濃度を高精度に測れるコンパクトな濃度測定器です。... More Info Less Info

約500種類のライブラリからガスを自由に選択できますので、混合ガスの濃度管理やガスの純度チェック等のさまざまな用途で幅広くご利用いただけます。

<特徴>
・様々なガスが測れて高精度
・長期安定性、メンテナンスフリーでガス種の変更も簡単
・高純度・高耐食性タイプもラインナップ

SiCパワーデバイス用超高温熱処理装置「Ailesicシリーズ」

高品質・高性能な熱処理性能で安定した量産に貢献します。... More Info Less Info

◆活性化アニール装置 Ailesic-2000

<特徴>
・最高温度2,000℃までのSiC活性化アニールに対応
・超急速昇降温特性を実現
・安定したプロセス性能

<アプリケーション>
活性化アニール

◆熱処理装置 Ailesic-1400/1500/1700

<特徴>
・最高温度1,400℃/1,500℃/1,670℃のSiC超高温熱処理に対応
・In situ Cleaning他、独自技術により超高純度プロセスと高稼働を両立
・高純度/高真空/高温プロセスにおける急速昇降温に対応
・独自開発長寿命ヒータ/炉内治具により大幅なランニングコスト低減を実現

<アプリケーション>
・酸化（O2）
・Post Oxidation Anneal（N2O, NO）
・アニール（N2, Ar）