ナガセテクノエンジニアリング㈱は最先端の技術を活かしお客様の様々なニーズにおこたえします。
ナガセテクノエンジニアリングは最先端の技術を活かしお客様の様々なニーズにお応えします。
米国H-Square社・ePAK社製品：半導体／MEMS／LED／フラットパネル／ディスク／バイオ／フォトリソグラフィー／太陽電池など、各業界向に、ご用途とプロセスに合う基板搬送用ハンドリングツール・装置及び各種カセットを出展いたします。脆弱な極薄ウエハにも対応可能な、卓上型の枚葉移載装置や非接触型搬送ツールのデモンストレーションも行います。
米国Eshylon社製、モバイル静電キャリアを展示デモいたします。
GLINT社製、ウエハと搬送用ハンド間の滑りや位置ズレを解消する画期的なパッド「SurfCon（サーブコン）」をご紹介します。
興研社製オープンクリーンシステムKOACH：オープンな環境でISOクラス1の清浄空間を実現します。卓上タイプを展示デモいたします。清浄度をご体感下さい。
液体のコーターである、Micro Mist Coater 静電塗布装置を展示いたします。静電気力を利用して液体を微細化する技術を応用し、精度の高い成膜技術をご紹介いたします。
＜導入メリット＞ ・高スループット 瞬時の接着・剥離による高い処理能力の実現 ・歩留まり向上 基板を損傷することなく優しくリリース ・低コスト 1台で接着・剥離、再利用可能なキャリア ・接着剤不使用 クリーニング工程不要
＜キャリア仕様＞ ・サイズ：100mm～300mm ・ベース材：シリコン、ガラス、石英、セラミック ・高温対応：400℃までの基板接合に対応
＜導入メリット＞
・基材の滑りやスティッキングを防止
・パーティクル発生なし（汚染なし）
・高温対応（260℃まで）
・長期耐用で簡単クリーニング
ウエハ移載装置の他、H-Square社製の各種装置を展示いたします。
・ウエハアライナー
・非接触ハンドリングツール
・ポータブル真空ピンセット
・ウエハ外縁ピック
・フォトマスク搬送ピック
空気中を浮遊するパーティクルの発生状況や発生源の確認に最適です。
環境見える化かソフトで、可視化したパーティクル数のカウント、飛散方向をデータ化できます。（オプション）
【メリット・特徴】 ・リアルタイムでパーティクルを可視化 ・空気中だけなく液中のパーティクルも可視化 ・コンパクトで設置が簡単 ・安全で扱いやすいLED照明（ラインアップ多数あり）
【用途】 ・装置から発生する発塵箇所の特定、粉塵管理 ・クリーンルーム内の環境確認 ・液中の異物の検査
静電気力を応用した液体を微細化してスプレー
・数μmレベルの成膜
・立体物へのコーティング
・塗布材料ロスの低減
・膜厚制御が容易
・小型テスト機から生産機まで
・デモテスト対応可能
・展示：小型テスト機 PDR-04
試験・研究向け静電塗布装置 "Micro Mist" マイクロミストコーター PDR-04 | ナガセテクノエンジニアリング株式会社 (nagase-nte.co.jp)