秦研究室では，MEMS (Micro Electro Mechanical Systems)やマイクロアクチュエータ，医療デバイスなど微小な集積機械デバイスを，微細加工と機械，材料の視点から研究しています．新機能を持ったマイクロデバイス研究のため，コンビナトリアル技術を用いて，新しいMEMS用材料の探索を行っています．また，磁性ナノ粒子の特性を活用した新しいマイクロナノデバイスの研究を行っています．これらの新材料・新プロセスを用いて，新しいマイクロデバイスの応用研究も行っています．