インテグリスは半導体やハイテク産業で使用される先端材料およびプロセスソリューションにおける世界的なサプライヤーです。
SEMICON JAPAN 2021では、先端ノードを実現し、歩留まりと信頼性を向上させるための包括的なソリューションを展示します。是非ブースにお越しください。
- ろ過についての事実と誤解 - リソグラフィ向けのツールキット
- プロセスガス精製の重要性の高まり
- インテグリスの先端成膜材料のイノベーション
- 革新的な材料で高度な技術的課題を解決する
- プラズマチャンバー部品のコーティングにおける 3 つの成功した精密工学技術
- SDS®3 Safe Delivery Source® - 毒劇腐食性ガスの安全な貯蔵と供給の標準
- 極端紫外線 (EUV) 用レチクルの保護と搬送
- 流体システムへの電気ショック - 危険な静電気放電を防ぐ
- 清浄性と安全性：安全でクリーンな薬液供給を実現する適切なドラムと接続システムの選び方
- 完全な CMP 管理による歩留まりの向上