特殊ネブライザーと凝縮技術を用い、UPW中のナノ粒子を高効率で捕集する「ナノ スポットライト システム MODEL9410」が登場!!
＜主な展示商品ラインアップ＞
○UPWのネブライゼーション（噴霧）とエアロゾル粒子の凝縮成長法を利用した捕集の組合せによる新技術
○半導体プロセスガスの精密質量解析により生産性の向上に貢献する質量分析計 ”infiTOF” 他
半導体製造の品質管理をサポートする精密計測ソリューションをご提案。
皆さまのご来場を心よりお待ち申し上げております。