半導体製造装置向けの2450MHzマイクロ波発振装置や自動整合器、接続用導波管などを展示します。
ご来場の際は当社ブース（東5ホール 小間番号５３０４）へお立ち寄りください。
■2450MＨz ソリッドステート型マイクロ波電源
1kWと3kWの2種類を展示します。
従来のマグネトロン方式に比べ、周波数や出力が安定しています。
■2450MHz 3E TUNER
従来タイプと比べ、小型化を追求しました。
ソフトウェアの改善により高機能化を実現しました。
・マグネトロン方式のマイクロ波電源と同等サイズを実現しました。
・電源ユニットとアンプユニットで構成されています。
・発振周波数の可変ができます。
・標準はタッチパネルおよびRS-232Cによるシリアル制御で使用いただけますが、アナログ電圧制御もオプション対応します。
・アンプユニットは約15㎏と軽量です。
・従来タイプと比べて、小型・軽量化を実現しました。 ・操作は専用PCソフト、シリアルコマンドによる制御で使用いただけますが、アナログ電圧制御もオプション対応します。 ・専用CONTROLLERもオプション品で用意しています。