クレステック

八王子市,  東京都 
Japan
http://www.crestec8.co.jp/index.html
  • 小間番号5727


電子線描画装置メーカーのクレステックです。受託描画サービスも行っております。お気軽にお立ち寄りください。

クレステックは、ポイントビーム型の専用メーカーとして25年以上、国内外に多数のEB描画装置を納入しております。装置の販売のみならず、EB描画の受託加工サービスも行っております。世界最高レベルの加速電圧を誇る130kVのXYZ型描画装置CABL-UHシリーズも販売しております。今回の出展ではこのCABL-UHシリーズにフォーカスを当ててご紹介いたします。

 出展製品

  • CABL-UH
    高加速電圧の採用により、レジスト内の電子線の前方散乱が少なく、より微細な加工が可能な電子線描画装置です。 ...

    • 電子線描画装置においては、長時間安定した高電圧による電子線が必要です。そのためには微小放電が限りなくゼロでなければなりません。しかし高電圧には放電現象がつきもので、微小放電はどうしても発生してしまいます。クレステックはその微小放電がほとんど発生しない構造の鏡筒を新たに開発し、長時間安定稼動を実現しました。
    130kVの加速電圧は1段加速で生成し、従来の多段加速による電子銃よりも短い構造となっています。この1段加速の設計により、低収差でクーロンぼけの少ない電子光学系が実現しました。結果として、従来よりも大電流で高解像度の描画が可能となったのです。また130kVの高加速描画は50kVと比べると、レジスト内の電子線の前方散乱が少なく、より微細な加工が可能となります。
  • CABL-AP
    微細加工性とレジスト感度のバランスがとれた、50kV加速電圧を採用した主力製品です。...

    • ・従来より一層の簡易操作性と機能性を付加したマルチユーザー対応
    ・WindowsベースのオリジナルCADGDSⅡおよびDXFに対応（オプション）
    ・単結晶ZrO/Wを採用したＴＦＥ電子銃
    ・加速電圧50kVで2nmの最小ビーム径を実現
    ・高いつなぎ精度、重ね合わせ精度
    ・抜群のビーム電流安定性、ビーム位置安定性
    ・フィールドサイズ変調ユニット 特許登録済(0.0012nmの最小アドレスサイズを実現)
    ・チャープト周期回折格子の製作も可能
    ・装置恒温システム

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