本出展では人工脊髄チップを搭載したミリメートルサイズの昆虫型ロボットや、IoTデバイスへの電源供給を目的としたMEMSタービン発電機といった、シリコンの微細加工技術であるＭＥＭＳを活用した小型デバイスの展示を行っています。昆虫型ロボットでは生物の脳におけるニューロンの働きを模倣したＩＣチップを制御システムとして用い、またミリメートルサイズの体で歩行動作を実現するために小型アクチュエータの開発も行っています。ＭＥＭＳタービン発電機では、オーガニックランキンサイクル発電機を手のひらサイズで実現するべく、ＭＥＭＳ技術で小さなタービン機構を開発し、セラミックコイルを組み合わせて発電を行います。顕微鏡でみる小型ロボットや発電機をぜひ見に来てください。