マイクロフィルター、管状膜（TMF：シリコン・シリカ・研磨剤を含む純水の再利用膜）、AMC制御フィルターを展示します。
日本フィルトレーショングループは、米国Madison Industries企業グループ（https://madison.net/）の一員です。Madison Industriesグループは、2020年現在68社31ヵ国に178の施設、10,000人の従業員にて構成され、石油、化学、電気、電力、機械、鉄鋼、食品、薬品、医療分野にわたるすべての産業領域向けに製品を供給する多国籍製造企業です。Filtration Group（https://www.filtrationgroup.com/)は、Madison Industries企業グループの中でもフィルター製品を母体とし様々な製品を全産業領域に提供し、世界をより安全で、健康で、生産的になることに努めています。
SEMICON JAPANには、弊社の兄弟会社であるGlobal Filter社、Porex/PCI社、Purafil社の製品を展示紹介いたします。
【Global Filter】
世界中で実績の高い、グローバル フィルター製品。フィルターハウジングを含めたフィルター設置のご相談から、すでにお使いの有名メーカー品を”廉価かつ安心できるブランド”のカートリッジフィルターに置き換えるご相談まで、よろず承ります。
【Porex/PCI menbrane】
POREX®Filtration0.05µm Tubular Membrane Filter（TMF™）モジュールは、クロスフロー管状RO膜廃水モジュールです。化学薬品の投与を必要とせずに、固液分離プロセスを行います。 ろ過された水は、元の流入水伝導率が10µs / cm未満であるため、脱塩ではなく、シリカ除去のみのためにROシステムに送られます。 その後、RO生成水はワークショップに送り返され、超高純度のDI水として再利用されます。 懸濁した固形物を含むスラリー含有水は、汚泥と水に分離するため脱水システムに送られ、汚泥ケーキは汚泥として処分され、絞り出された水は廃水処理システムに戻されます。
【Purafil】
Purafilの特許取得済みの球状の多孔質ペレットは、さまざまな化合物と、空気ろ過に固有の特性を持つ材料で構成されています。化学吸着と呼ばれる独自の化学プロセスにより、空気中のガス状汚染物質を除去します。
化学吸着中に、分子汚染物質は無害な固体に変わり、ペレット内に閉じ込められます。このプロセスは瞬間的で不可逆的であり、従来のろ過には小さすぎる汚染物質を除去することができます。
Purafil社は、この多孔質ペレットを使い、SOx, NOx, O3, VOCs, H2S, DMS, COS, 全硫黄, Cl2,HF, HCI, HBr, H2SO4, NH3, NMP, CH3NH2, フタル酸エステル, シロキサン, AsH3, PH3, BF3を吸着します。
これらの多孔質ペレットは、既存のクリーンルーム設備に設置可能なものからPurafil独自のガススクラバーユニットにて使用することも可能です。
また、新型コロナウイルス感染対策ブース（3212）では、銅イオンと銀イオンを担持した：抗菌フィルター、マスク、空気清浄機を展示しています。