真空ポンプのブッシュです。
世界の半導体業界で実績多数。導入実績や実機をブースでご紹介します。ぜひお越しください。
世界の産業界で実績を積むブッシュ。
真空ポンプ単体から、集中真空システム、サブファブの管理まで、
半導体業界の真空はブッシュにおまかせ下さい！
SEMICON JAPANでは、幅広い真空ポンプ製品群から、 半導体業界の
アプリケーション向けに開発された製品の実機を展示いたします。
===出展製品Pick-up ===
- ハーシュプロセス対応：★超低温★ドライスクリュー真空ポンプ COBRA BC1200
- ロードロック専用：★業界最高レベルの省エネ★多段ルーツ真空ポンプ TORRI BD100
- リーク検出：★台車付き可動式★スニッファー法真空法双方可のリーク検出器TAPIR HL 1102
皆様のご来場をスタッフ一同お待ちしております。
出展製品