旭ダイヤモンド工業

千代田区,  東京都 
Japan
http://www.asahidia.co.jp
  • 小間番号2239


ウェーハ製造、デバイス製造、半導体製造装置用部品の加工など、様々な工程で使用されるダイヤモンド工具の総合メーカーです

市場環境

 パソコンやスマートフォンに始まり、それらを支える通信設備や基地局等のインフラ設備、ADAS、スマートファクトリーなど、様々な場面で半導体は産業にとって必要不可欠な存在となっています。

 近年、推進を加速し始めたデジタルトランスフォーメーション(DX)や、SDGsの取り組みの一つである低炭素社会の実現のためにも半導体産業はさらに勢いを増すこが予想されます。

旭ダイヤモンド工業として

 上述した市場環境の中、弊社はダイヤモンド工具のエキスパートとして、半導体および半導体関連製品の製造において必要不可欠な工具を、実績と経験に基づき、お客様の求める最善の解決策を提案することが可能です。

 半導体製造においては、主に以下のダイヤモンド工具が半導体の高性能化、低背化に寄与しています。

  • EcoMEP(ダイヤモンド電着ワイヤ)

   インゴットの切断、ウェーハリング時に使用される

  • ウェーハ外周加工用ホイール

   分割されたウェーハの外周やノッチ部の加工に使用される

  • CMPコンディショナ

   CMP工程におけるパッドのドレス(コンディショニング)に使用される

  • ウェーハ面研削用ホイール

   ウェーハの両頭および表面研削や、デバイスのバックグラインド工程で使用される

  • ダイシングブレード

   ウェーハ基板のダイシングや、パッケージのシンギュレーションなどで使用される

 進歩する最先端の加工技術にお応えするため、製品の開発を進めております。この度の展示会では、TSV、EMC、LT/LN、GaN、SiCなどの加工ワークおよび各種工具を展示し、弊社の技術を紹介致します。


 出展製品

  • 電着ダイヤモンドワイヤ「エコメップ®」
    電着ダイヤモンドワイヤは、高張力ワイヤに特殊技術でダイヤモンド砥粒を電着した長尺ワイヤです。遊離砥粒方式に比べ、シリコン等の硬脆材料のスライス加工時間を短縮できます。また水溶性切削液も使用できることから、切り粉の回収や再資源化が行え、トータルなコストダウンが図れる地球環境にやさしい製品です。当社の試験機でカットすることにより、御客様の様々な材料の切断に対して最適な加工条件を提案することが可能です。...

  •                                                       ♦均一な砥粒電着 

                         

       

       

     ♦ウェハ平坦度が向上(Φ12")

         

                                    

  • ダイヤモンドカッタ/ダイシングブレード
    ウェーハのダイシング、精密電子部品の加工に使用されます。刃厚の薄い高精度薄刃カッタは磁気ヘッドや高精度ガラス、電子セラミックスなどの加工に使用されています。...

  • ①・新メタルダイシングブレード “メリウスメタル”

    新たなソフトボンド系のメタルダイシングブレードで、先端エッジ形状の持続性が良好です。汎用性に優れており、ガラス、セラミックなど広範に適し、切れ味と寿命をバランス良く兼ね備えた製品です。

    ②・新メタルダイシングブレード”ポリマインメタル”

    改良製法によるメタルダイシングブレードで両側面が平滑な仕上がりとなる特徴を持ち、撥水や節水などの効果とボンド組み合わせによる耐摩耗性とエッジ形状の維持に優れます。半導体パッケージ基板などへ適用されます。

    ③・新レジンダイシングブレード”ハイブリッドレジン”

    レジンボンドとメタルボンドの中間的な位置付けとなる、新たなレジンダイシングブレードです。優れた切削性を保ちながら、長寿命化を図ります。ガラスやセラミックなどへの加工部位の品質向上に適します。

    ④・新シリーズ電鋳ダイシングブレード”PB20”

    電鋳ブレードの更なる改良仕様として砥粒分散性の向上や高剛性化により、蛇行や倒れの抑制、切断カーブの安定化が図れます。半導体パッケージ基板、未焼成セラミックスなどへ適合されます。

    ⑤・ビトリファイド製ボード“プリデュースボード”

    従来のドレッシングボードに無い高いドレス性能を有し、半導体ウェーハ切断の立上げとして、ダミーウェーハ切断によるプリカットからの置換えにより、短時間でのダイシングブレード目立て、クーラント量の削減で、コスト低減へ寄与致します。

    ⑥・ダイシングテープ(Dicing Tape)

    ダイシング工程において、ウェーハやワークの固定に使用されるテープで、粘着性やエキスパンド性などアプリケーションに応じた品種をラインナップしています。お客様のニーズに合わせた、カスタマイズ仕様の製作にも対応致します。

    ⑦・台金付き精密カッタ(Precision Cutter with Steel Core)

    スチール台金の外周部に砥粒層を形成したカッタです。被削材により、最適な砥粒(ダイヤモンド、CBN)とボンド材(メタル、レジン、電着)を組合せた、最適仕様を選択できます。内外径、刃厚、刃先形状などは、ご要望に応じて製作致します。さらには、高精度ピッチで組み込んだマルチタイプカッタへの対応も可能です。

  • CMP コンディショナ
    半導体集積回路製造プロセスの平坦化技術であるCMP(Chemical Mechanical Polishing)工程で、研磨レートの安定化を目的として使用されるコンディショナです。CMP工程に用いられる研磨パッド、スラリーが多様化する中、ご要望の研磨レートが得られる様、プロセスごとに最適化した仕様のコンディショナを提供します。弊社コンディショナの特徴として①安定した性能②スクラッチフリー③コンタミネーションフリーが挙げられます。 ...

  • 各種プロセス用CMPコンディショナ

    安定性能・スクラッチフリー・コンタミフリー

    ・高品質砥粒

    ・砥粒配列

    ・PAIコーティング

                                            

  • 半導体関連材料研削用ホイール
    半導体関連材料研削用ホイールは、「半導体」の高品質化や低背化を実現するため、材料ウェーハの平坦化やデバイスウェーハの薄厚化の加工に使用されています。半導体の基板やその周辺材料には、多種多様な材料が使用されており、それぞれの特性や要求が異なるため、最適な製品仕様を提案いたします。...

  • 様々なアプリケーションに対応するため、幅広いボンドラインナップをご用意しております。電子部品、半導体にかかわるほぼ全ての面研削加工において、仕様選定だけでなく、加工条件などの提案も可能ですので、ぜひご相談ください。

    実績のあるアプリケーション

    • 各種半導体ウェーハ(SiSiCGaN酸化ガリウム、ほか)
    • 各種電子部品基板(LiTaO3LiNbO3GaAsInP、ほか)
    • 各種ガラス(石英ガラス無アルカリガラスホウケイ酸ガラス、ほか)
    • 各種放熱基板用セラミックス(アルミナ炭化ケイ素窒化ケイ素窒化アルミ、ほか)
    • 封止材料(エポキシ樹脂ポリイミド樹脂EMC&Cu同時研削)
    • サファイア

    ビトリファイドホイール

     特徴

    • 非常に高精度な表面を得られ、高い抗折強度を達成できる
    • 高気孔構造による優れた切れ味で、様々な難削材や硬脆材料の連続加工が可能
    • 加工面精度の向上と、低ダメージ加工により、歩留まり向上に寄与

    レジンホイール

     特徴

    • シリコンの粗加工用で、高い耐摩耗性と優れた切れ味性能を持つ新規レジンボンドホイールを開発
    • 酸化膜付きのウェーハの加工も可能
    • 切れ味に優れるため、生産性の向上に寄与


    メタルホイール

     特徴

    • 各素材の粗加工用で優れた寿命と切れ味を示す
    • 特に硬脆材料において、他ボンドと比較して優れた研削性能を発揮
    • 切れ味に優れるため、生産性の向上に寄与


    多孔質メタルホイール”M-Cloud”【NEW!!】

     特徴

    • 硬脆材料において優れた耐摩耗性と高い研削性を両立
    • 非常に高い気孔率を実現した新規設計のメタルボンド
    • 従来のビトリホイールよりさらに切れ味と耐摩耗性に優れるため、生産性の向上に寄与

  • ウェーハ外周研削用ホイール
    ウェーハの品質の高精度に伴い、ウェーハ外周部の端面(エッジ部)についての品質改善は必要不可欠となってきました。当社では、ウェーハ外周加工用ホイールとして、「面取りホイール」、「ノッチホイール」、「テラス加工用ホイール」などラインナップしています。粗研・精研用として、厳しい形状精度や耐摩耗性、安定した切れ味に対応するための豊富な仕様選定と、多層ホイールといった幅広い対応が可能ですので一度ご相談ください。...

  • シリコンウェーハ大径化に伴い、求められるウェーハの品質は厳しくなっています。当社では、ウェーハ外周加工用ホイールとして、多数のダイヤモンド工具を取り揃えております。弊社の豊富なボンドラインナップと加工実例から、お客様のニーズに合った仕様選定をさせていただきますので、一度ご相談ください。


    面取りホイール

    ウェーハエッジ加工においては、粗研用として形状維持性の高いメタルボンドが、精研用として加工品位を重視したレジンボンドが使用されております。また、粗・精研一体型ホイールや、切れ味の異なるボンドの組み合わせ、異なる粒度を組み合わせた多層ホイールなど、自由度の高いカスタマイズが可能です。


    ノッチホイール

    形状維持性の高いメタルボンドにより、品質向上に寄与します。こちらも異なる粒度を組み合わせた二層構造など幅広い仕様に対応が可能で、切れ味と寿命の安定化を実現させたノッチホイールをご用意しております。


    インゴット外周加工用ホイール

    各種インゴットの外周を円筒研磨して整形する”丸め加工”や、小口径ウェーハの結晶方位の指標として形成される”オリエンテーションフラットの加工”、そして、大口径ウェーハ用インゴットにおける”Vノッチ(V形の切り込み)加工”には、メタルボンドが使用されます。弊社のメタルボンドは、ボンドラインアップも豊富であり、優れた砥粒保持力や形状維持性、高能率研削(深切り込みや高速送り)にも対応可能です。


    エッジトリミング用ホイール