HIDEN ANALYTICAL社のモデルAuto SIMSは信頼性の高い表面分析装置で、レイヤー構造、表面汚染物、及び不純物などの特性評価向けに設計されています。酸素一次イオンビームによって陽イオンを高感度で検出し、周期表全体にわたって高い同位体感度を提供します。また、イオンソースはナノメートルデプス分解能と表面層分析を可能にしま
す。
大型サンプルホルダーと自動ステージが追加搭載し、24時間365日稼働し、何百もの分析を行う自動分析バッチを実行できます。また、フルマニュアルモードで実行することもできます。ステージ精度と広いサンプル領域は高度分析開発分野で活用して頂けます。
スタティック・ダイナミックSIMSの両方に対応しているAutoSIMSは、生産環境での利用に適しており、また、設置面積が小さいため、迅速な設置が可能です。別途オプションにてエレクトロンソース(モデルHiden EG500)を取り付けることで、絶縁体分析が可能です。更に、内蔵カメラにより、大型サンプルホルダー周りの分析観察を容易に行って頂けます。