丸文

中央区, 東京都
Japan
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小間番号4535

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出展製品

＜＜出展見どころ（東ホール４　No.4535）＞＞

当社、丸文のブースではドライエッチングやプラズマCVDといった装置に使用する高周波関連の測定機材（BIRD社他）や、AIを活用した異常検知・予知保全システムを提案致します。

【RFパワー測定ソリューション】
エッチング装置・CVD装置等、プラズマを発生させる工程において使用される
高周波（RF）電源の電力測定装置を出展致します。ロジック・ファウンドリ向けのドライエッチング装置では細かなRFパワーコントロールが求められます。BIRDでは現状の1%精度からさらなるパワーセンサの精度向上（0.5％）を実現するセンサを開発しております。

【非50Ωライン測定ソリューション】
RF電源を使用する装置において、マッチングボックス以降においても、RFの状態監視（電流、電圧、位相角）を可能にした製品を出展致します。

【IQデータ解析ソリューション】

X COM社の提供するRF信号のキャプチャ、ストレージ、プレーバックを可能にするIQデータ分析ソリューションをご紹介します。リアルタイムスペアナのIQデータを解析することで、RF電源の異常検知や通常時とのスペクトル比較、不具合原因解析に活用頂けます。

【AIを活用した異常検知・予知保全システム】

CrossCompass社の提供する『MANUFACIA』は、製造業に特化した直観GUIのかんたんAI開発ツールになります。製造ラインの各種機器の故障や不良の原因(接着不良、異物、温度、振動、音、電流電圧、圧力等)に関する各種データをMANUFACIAにインプットすることで、お客様固有の最適なAIモデルを生成することが可能です。

【多機能測定ソリューション】

オシロスコープやファンクションジェネレータといった機能をまとめた多機能測定器Mokuシリーズをご紹介いたします。ご用途や必要スペックに応じて柔軟なご提案が可能。またIpadを使用した革新的なUIも必見です。

出展製品

超高精度（0.5%）パワーセンサ7037

±0.5%の超高精度パワーセンサ7037は、BIRD社が独自のカロリーメータ技術の発展により開発した、従来のRFパワー測定を一新する新世代パワーセンサです。純粋なパワーの測定から、パルス波形のリアルタイムモニタまで、様々な用途に対応致します。... More Info Less Info

製品仕様

7023・25 ：シングルパルス校正周波数において精度1%@1700W（other 2%）
7027・29 ：マルチパルス（最大4段階）精度1%@校正周波数における全パワーレンジ
7037 : マルチパルス（最大4段階）精度0.5%@校正周波数における全パワーレンジ
※その他領域 : 1.5%
※ご希望の周波数帯、パワーレンジ等詳細につきましてはお気軽にお問い合わせください。

非50Ωライン測定システム　BDS2

BIRD社の提供する非50Ωライン測定ソリューション、BDS2はチャンバ内の実効電力モニタに最適です。RFの再現性を求められる半導体の製造プロセスでは、RFの常時監視モニタとして利用できるだけでなく、電流、電圧、位相角が測定可能なためマッチングボックス以降のRF状態をチャンバ毎に管理することが可能です。... More Info Less Info

非50Ωライン測定システムBDS2の特長

非50Ωラインにおける電流、電圧、位相角モニタ。RF実効電力及びスミスチャートによるインピーダンス解析
周波数スイープ機能を用いたスぺクトラム解析。高調波・ノイズ成分の解析
内蔵のトリガ機能により、アークやパルスの立ち上がりを見逃さずキャプチャ可能。プロセス解析・良否判定に最適
オプションのタイムドメイン機能を使用、最大4レベルのパルス波形をモニタ

IQデータ解析システム　Spectro X / IQC5000B(記録用ハードウェア）

RFの再現性が重要となるプラズマプロセスにおいては、RF電源の異常検知や、高調波がプロセスに与える影響を注意深くモニタ・解析を行う必要がございます。Spectro Xはリアルタイムスペアナから収集したIQデータ・ファイルを時間軸、周波数軸で再生、加工することで、テラ・バイト級の膨大なデータから重要な信号を迅速に特定することができます。... More Info Less Info

Spectro X IQデータ解析ソフトウェアの特長

1. 時間軸、周波数軸を同時に表示できるので、RF電源のスパイクや高調波の発生状況等を容易に特定可能。
2. 最大4チャンネルまで同時再生が可能、データの比較が即座に実施頂けます。
3. ズーム機能搭載、データ再生スピード調整等直感的な操作が可能なUI。
4. Carrier Search、Waveform Search、Pulse Searchの3つのSearch Engine搭載で、様々な角度からデータを検索可能

多機能測定器　Mokuシリーズ

LiquidInstruments社が開発した多機能測定器Mokuシリーズは、オシロスコープ/データロガー/スペクトラムアナライザ/信号発生器等、電子回路、部品・材料の評価試験に必要な測定機能をこれ1台で網羅します。また、価格やユーザの熟練度に応じて３種の製品ラインナップを展開！iPadを使用したソフトウェアの操作性も高く、非常に直感的な操作が可能。高価で煩雑な測定器を何台も所持する必要はもうありません。... More Info Less Info

製品特徴：

Moku:Go（エントリーモデル）

アナログ入力/出力
2ch 12 bit, 125 MSa/s

入力帯域幅
30 MHz

Digital I/O
16 ch@125 MSa/s

出力帯域幅
20 MHz

プログラマブル電源
2 or 4 chオプション

Moku:Lab（ミドルエンドモデル）

Moku:Pro（ハイエンドモデル）

スペック詳細：

アナログ入力
4チャンネル、最大5Gsa/s

入力帯域幅
最大600MHz

アナログ出力
4チャンネル、1.25GSa/s

出力帯域幅
最大500 MHz

ディープメモリ＆ストレージ
120GB SSD

製造業に特化した直感GUIかんたんAI開発ツール『MANUFACIA』

製造ラインの各種機器の故障や不良の原因(接着不良、異物、温度、振動、音、電流電圧、圧力等)に関する各種データをMANUFACIAにインプットすることで、お客様固有の最適なAIモデルを生成することが可能です。... More Info Less Info

詳細情報：

【製造現場の課題】
◆ 高度な技術の継承。
◆ 工場に埋もれるビッグデータの解析。
◆ 高度な異常検知。
◆ 属人的な官能検査のデジタル化。

【AIの製造業への導入の課題】
◆ AI、数学の専門的知識が必要。
◆ プログラマの確保が必要。
◆ 試行錯誤を伴って、良否の判断がつくまで、長期活動となる。
◆ AIは道具、改善成果を早く得たいのに、オーバヘッドが大きい。

【MANUFACIAによるソリューション】
◆ 製造業に特化した直感GUIのかんたんAI開発ツール
◆ AIの特別な知識や、プログラミング不要
◆ 低価格でAI導入のスモールスタートを実現
◆ AIモデル開発までは、ノーコード
◆ 未学習のAIモデルの開発プロセス不要
◆ 実証済みの多数の未学習AIモデルを実装し、評価結果から、合理的にユーザーが選択

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