メガトール

横浜市,  神奈川県 
Japan
http://megatorr.co.jp/
  • 小間番号5026


真空圧力を制御する機器を多数そろえています。是非来訪ください。

Megatorrは、真空圧力制御を中心とした最先端のプロセス技術に対応した製品を紹介、展示致します。

・絶対圧真空計キャパシタンスマノメータ

・圧力コントローラ

・圧力コントロール加熱型スロットバルブ

・コンダクタンス可変型広帯域バルブ

・溶接ベローズ

・ポンプ排気ライン遮断弁

・ヒーターブロック

その他にもお客様にソリューションを提供できる部品を扱っております。当社ブースに是非お立ち寄り下さい。

 出展製品

  • 圧力コントロール　スロットルバルブ　MR/MA　シリーズ
    弁体部が0～90°可変することにより真空圧力制御を行うスロットル（バタフライ）バルブです。 エッチング/CVD装置等の真空チャンバーの圧力制御を高速応答、高再現性で行うことができます。...

    • 汎用型スロットルバルブ
    "＊ 対応フランジ ： JIS/ISO/KF(NW)/CF
    ＊ 日本国内で開発製造 →要求仕様にカスタマイズ
    ＊ 規格準拠： CE マーキング対応、UL認定品使用"
    自己加熱型スロットルバルブ
    200℃までフランジと弁体を独立で温度調整。
    温度均一性に優れ、反応生成物等の汚れを抑止し大幅にメンテナンス性と生産性を向上いたします
  • 圧力コントローラ AP-430
    APシリーズは、あらゆるサイズのスロットルバルブに接続でき、厳しいプロセス条件下でも高再現性の真空圧力制御を得られます。...

    • APシリーズはキャパシタンスマノメータ(絶対圧真空計)、スロットバルブと組み合わせて使用する圧力コントローラです。PID/ハイブリッドの2種類より制御方式を選択でき、半導体/FPD/他産業設備等の製造装置に求められる高速応答、高再現性の真空圧力制御を確実に行います。フロントパネルからの設定も可能ですので、操作性が非常に容易です。またCEマーク、RoHS対応品のため、世界中あらゆる産業の量産設備で使用されています。
    主な仕様：
    入力電源：±15VDC、　24VDC、　AC100－220V
    コントロール精度：圧力設定値の±0.05%　 + センサフルスケールレンジ±0.05%
  • 広帯域コンダクタンス可変バルブ AW シリーズ
    一つの配管径でコンダクタンスを自由に調整でき、広い圧力範囲で、高速・高精度での制御機能を搭載したL型制御バルブです。...

    • プロセスの多様化により、圧力制御範囲も多様化広域化の傾向を示してきており、特に低真空（高圧）下での圧力制御のニーズが増加してきております。バルブ加熱温度も、同じくプロセスガスの多様化により、高温を求められるようになってきました。そのご要望を実現できるのはこの広帯域バルブです。
    広い圧力制御範囲：101.33kPa(大気圧) ～ 10Pa以下(760Torr ～ 70mTorr以下)で制御ができ、また200℃まで加熱することができます。
  • キャパシタンスマノメータ CMX/CMCAPシリーズ
    真空チャンバー内圧力を絶対圧で測定することができます。 インコネルダイアフラムが採用されており、耐腐食性に優れ、ガス種に依存せせず、高精度な真空計です。 最先端なエレクトロニクス技術とデジタル処理により、周囲温度変化等あらゆる環境変化に対しドリフト抑制し長期安定性が得られます。 またインターフェースもアナログ又はデジタル通信で圧力値を正確に読み込むことができます。...

    • ガス種の影響を受けることなく正確な真空圧の測定ができます。
    Brooks社の独自のセンサー技術にデジタル温度制御、デジタルキャリブレーションを組み合わせることで、さらなる高精度、長期安定性に実現いたしました。
    主な仕様：
    精度：　読み値の0.15%
    温度：　非加熱汎用型、45℃加熱、、100℃加熱、160℃加熱
    接ガス部材質：　INCONEL、　SUS416L
  • チャンバーガード
    本製品は、真空排気ポンプ上部への取り付け、排気ポンプが緊急停止した際に排気ラインを遮断します。...

    • プロセスで発生する反応生成物や粉塵がチャンバー内や排気系に蓄積しております。
    プロセス中にポンプが緊急停止するとチャンバー内の粉塵の舞い上がりや配管等からのチャンバー内製品汚染を引き起
    こす原因となります。
    チャンバーガードを使用することでポンプの停止の際に排気系を瞬時遮断することにより、粉塵の逆流を防止し製品をコンタミネーションから守ります。
    特徴
    差圧によりバルブを瞬時閉する構造のため動作のための電源が不要
    非加熱、加熱タイプ選択可能
    メンテナンスサイクル低減で稼働率向上
    NW40-NW100　配管に対応
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