シリコンウエハはもちろん、ガラスや半透明素材、裏面粗面ウエハも異物測定できます。
パーティクル検査はお任せください。
山梨技術工房は、ノンパターンウエハ表面上のパーティクルやスクラッチを測定する表面異物検査装置、YPIシリーズの製造・販売を行っています。
YPIシリーズは、半導体デバイス製造工程のプロセスモニタリング、ウエハ製造の表面パーティクル管理などで、半導体業界のお客様に幅広く使用されている検査装置です。
今回の展示会では、テープフレームに貼られたウエハのパーティクル測定を行えるYPI-MX Tape Frameのパネル展示を行います。
後工程で高まるパーティクル検査要望を高感度で実現します。
弊社ブースでお待ちしております。
パネル展示
テープフレームウエハ表面検査装置 YPI-MX Tape Frame
YPI-MX Tape Frameは、テープフレームに貼られたウエハを高感度で測定可能な検査装置です。
後工程プロセスのパーティクル検査に最適なモデルとなっております。
マニュアル搬送タイプでは、シリコンウエハの洗浄確認・成膜確認など、前工程プロセスにも対応、前後工程のパーティクル検査が可能です。
ウエハ表面検査装置 YPI-MX
YPI-MXはシリコンなど不透明ウエハ、LT/LN・ガラス・石英など透明や半透明ウエハ表面を、高感度に測定できる表面異物検査装置です。マニュアル測定や自動搬送測定に対応でき、300mmFOUPから小径ウエハは2inchまで対応可能な装置となっています。
半導体デバイス量産工場のプロセスモニターや洗浄・成膜確認、ウエハ製造メーカーでの出荷確認装置として最適な構成をご提供できます。
ウエハ表面検査装置 卓上モデル YPI-MN
YPI-MNは200mmまでのウエハに対応する、マニュアル搬送仕様卓上モデルの異物検査装置です。本体は約548x672x1009mmのコンパクト設計のため、洗浄装置の横や開発ラボの一画などの小さなスペースにも設置することができ、洗浄確認・プロセスモニタリングに適しており、迅速な検査の実施に最適な装置です。
SiC・GaN基板用表面検査装置 YPI-MX-DC
SiCウエハを用いたパワーデバイス製造のプロセスモニタリング、洗浄確認、及びSiC表面研磨工程を管理されているお客様から好評を頂いているモデルです。
355m波長レーザを搭載し、SiCウエハで0.100μmの最高検出感度を達成しています。
独自技術である表裏分離測定機能にて、透明系基板の裏面情報を除いた基板表面のみの検査が可能です。
SiCやGaNだけでなく、シリコン・透明基板・半透明基板にも対応しています。