ユタカ

大田区,  東京都 
Japan
http://www.yutaka-crown.com
  • 小間番号5523


ガス混合装置、高純度ガス対応圧力調整器、分析・研究用ガス対応機器を取り揃えてお待ちしております。

ブロック型圧力調整器「L12シリーズ」

供給圧力14.8MPa対応圧力調整器「R72シリーズ」

大流量用圧力調整器「RL1シリーズ」


 出展製品

  • SUS製ニードル式低圧大流量タイプ圧力調整器 RL1
    ■コンパクトボディで大流量を流す事が可能。 ■ダイヤフラム素材はSUS316L材を採用、高純度なガスの用途にご使用出来ます...

  • 標準仕様

     入口圧力    

    Max.0.8MPa                 

    調整圧力

    0~0.6MPa

    元圧変動

    入口圧力;0.1MPa当り、

    調整圧力変化量;0.025MPa

    Cv値

    Cv=3.6

    耐圧圧力

    1.2MPa(入口側)、0.9MPa(調整側)

    使用温度

    -10℃~+40℃

    外部リーク

    ガスによる24時間封入

    (溶接仕様1×10-10 Pa・m3/s・He)

    質 量

    約9kg (出入口継手1''フェイスシール溶接3W)

    取付方法

    裏面パネルマウント(前面PM打合せ)

  • 出口高圧タイプ半導体製造プロセス用圧力調整器 R72
    入口圧力21MPa、調整圧力15MPaの高圧で使用可能 丸型ハンドルで操作が容易...

  • 標準仕様

    入口圧力

    Max.21MPa                      

    調整圧力

    Max.15MPa

    元圧変動

    入口圧力;0.1MPa当り、

    調整圧力変化量;0.007MPa以下

    耐圧圧力

    31.5MPa(入口側)、22.5MPa(調整側)

    使用温度

    -10℃~+40℃

    継手

    溶接仕様:1/4フェースシール継手

    ねじ込み仕様:NPT1/4めす

    外部リーク

    ねじ込み仕様(P):1×10-9Pa・m/sec・He(真空法)

    溶接仕様(W):1×10-11 Pa・m3/sec・He(真空法)

    (但し、グレード”C”はNガスによる24時間封入テスト)

    質量

    約1.9kg

    取付方法

    背面ビスによる取り付け

    前面パネルマウント

  • 1.125インチブロック型半導体プロセス用圧力調整器 L12
    ■1.125インチSEMI規格準拠ブロック型圧力調整器 ■プロセス用途専用に最適設計 ■装置メーカー集積化システムのツール仕様に対応...

  • 製品仕様

       シリーズ        

    L12

    L12H

    L12V

    最大入口圧力

    0.99MPa

    調整圧力範囲

    -0.1~0.1MPa

    -0.1~0.2MPa 

    0~0.2MPa

    0~0.4MPa

    0~0.6MPa

    0~0.7MPa

    標準放出流量

    20L/Min

    50L/Min

    20L/Min
    (正圧時)

    外部リーク

    1×10-11 Pa・m3/s(He)

    使用温度

    -10~+40

    接ガス部表面処理

    0.08μmRa以下

    ダイヤフラム

    HC-22(ハステロイC22

    弁シート

    STD=PFA OP=PCTFA

    調整弁棒

    STD=SUS316L OP=HC-22

  • 高圧標準流量タイプ高純度半導体製造プロセス用圧力調整器 L21
    入口圧力:Max.21MPa 調整圧力:Max.0.99MPa Cv値0.09...

  • 標準仕様

       入口圧力      

    Max.21MPa (標準14.8MPa)

    調整圧力

    Max.0.99MPa(レンジ仕様:0~0.2、0~0.4、0~0.6、0~0.99MPa)                            

    元圧変動

    入口圧力:0.1MPa当り調整圧力変化量:

    0.0005MPa以下

    耐圧圧力

    31.5MPa(入口側),1.5MPa(調整側)

    Cv値

    0.09

    使用温度

    -10℃~+40℃

    外部リーク

    溶接仕様(W):1×10-11 Pa・m3/s・He(真空法)

    接ガス部表面

    研磨仕様(グレード”A” 0.18μm Ra以下)

    質量

    約1.4 kg

  • 高精度ガス混合装置 BMF
    マスフローコントローラーを搭載したガス混合装置を新たにラインナップしました。 独自のプログラムで混合精度を常時管理致します。...

  • ◇主な用途

    ・フォーミングガス

    ・食品封入ガス

    ・溶接用混合ガス

    ・気密検査用ガス

    ・標準ガス

    ・熱還元ガス

    ・燃焼ガス

    ◇オプション

    ①防爆仕様

    ・電気部品をコントロールボックス収納

    ・非防爆エリアに設置することにより防爆に対応可

    ・圧力センサは本質安全防爆検定品を採用

    ・筐体排気構造(密閉構造、ダンパー等)取付可能

    ②濃度計付属

    ・タッチパネルディスプレイで簡単操作

    ・混合ガス、単一ガスの純度管理に最適

    ・濃度警報出力可能