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リオンブースへようこそ!
20nmを測定可能な液中パーティクルセンサを展示します。フッ酸を含む薬液に対応するためサファイアセルを採用し、長年にわたり培った信頼性を受け継いでいます。
昨今話題になっている高粘度試料を、原液のまま粒子測定をできるようにした液中パーティクルカウンタシステムを展示します。試料を希釈することなく測定ができるため、作業効率の改善、歩留まり向上に寄与します。
その他に、薬液中の30nm粒子を測定するKS-19F、フォトレジスト溶液中の0.1μm粒子を測定可能なKS-41B、超純水インライン測定用のKL-30A/30B、幅広い粒径をカバーするKSシリーズを展示し、液体中の清浄度管理をトータルサポート致します。
気中粒子については、ハンディタイプから大流量のポンプを採用した一連の製品をご紹介します。ぜひ弊社ブースにお越しいただき実機をご覧ください。
・最小可測粒径 0.1μm、定格流量 5 mＬ/min ・粒径区分 0.1 μm～0.5 μmの範囲で最大10段階 ・多点監視システムに接続可能
・半導体レーザ励起固体レーザ採用で、小型・軽量 ・リオン多点モニタリングシステムへの組み込みや、チューブ多点システムの構築が可能 ・測定データはCFカードに保存が可能（CSV形式）