レーザーテックは最先端の半導体製造プロセスに不可欠な高精度の検査・測定装置をご提供しています。
EUVリソグラフィ全般の幅広い製品ラインナップおよび主力のマスク、マスクブランクス欠陥検査装置、ウェハ関連検査装置をご紹介いたします。またハイブリッドレーザー顕微鏡の実機デモを行い、R&D（標準機）から量産試作（特殊ステージ仕様）、量産ライン（プロセス機）まで、測定ニーズに合わせた顕微鏡のカスタムをご提案します。あらゆる検査・計測に関する新規案件も承っておりますので、ぜひ当社ブースにお立ち寄りください。
・ウェハファブにおけるEUVマスクおよびフォトマスクの受入検査、定期的な品質確認検査
・EUVマスクおよびフォトマスクの製造工程における出荷前検査
・EUVマスクブランクス(Mo/Si多層膜)の検査
・EUVマスクブランクスの欠陥解析
・欠陥の高精度位置検出
・半導体・オブ・ザ・イヤー2018 製造装置部門 グランプリ受賞
・ウェハファブにおけるEUVマスク裏面の定期管理・受入れ検査
・EUVマスク裏面の異物の検出・高さ測定・クリーニング
・マスクメーカー、ブランクスメーカーにおける出荷検査
・半導体・オブ・ザ・イヤー2013 半導体製造装置部門 グランプリ受賞
・SiCウェハ、エピウェハの出荷・受入検査
・SiCエピタキシャル成長プロセスの管理
・SiC研磨プロセスの管理
・SiCデバイス製造プロセスの管理
・半導体・オブ・ザ・イヤー2016 半導体製造装置部門 優秀賞受賞