列真

品川区,  東京都 
Japan
http://www.lazin.jp
  • 小間番号5834


ガラス検査のエキスパート

出展製品：

「　LODAS™ - CI8　」　化合物半導体欠陥検査装置

「　LODAS™ - BI12　」　GlassWafer欠陥検査装置　　　　　　　　　　　　　

「　LODAS™ - AI50/100　」　PhotomaskBlanks欠陥検査装置

「　LODAS™ - BI8　」　卓上型Photomask欠陥検査装置

「　LODAS™ - LIシリーズ　」　FPD Photomask Blanks欠陥検査装置

 出展製品

  • LODAS™ -CI8
    化合物半導体結晶欠陥検査装置...

    • 検査対象：SiC Wafer、SiC EPI Wafer、GaN Wafer、GaN EPI Wafer、GaOnSi Wafer等の化合物半導体
    検査項目：表裏面スクラッチ、内部欠陥、表裏面パーティクル
    特徴：　
    〇表面、裏面、内部の同時検査
    〇微分干渉共焦点検査による内部結晶欠陥検査
    〇欠陥Reviewが微分干渉顕微鏡で行う

  • LODAS™ -BI12
    GlassWafer欠陥検査装置...

    • 検査対象：12inch、8inch、6inch　Glass Wafer
    検査項目：表裏面パーティクル、内部欠陥
    特徴：　
    〇Glass　Waferの出荷検査、プロセス評価
    〇表裏面・内部欠陥の同時検査
    〇微分干渉顕微鏡にて欠陥表裏面欠陥判定・解析

  • LODAS™ -AI50/100
    PhotomaskBlanks欠陥検査装置...

    • 検査対象：Photomask　Substrate、Cr、Resist、MoSi
    検査項目：パーティクル、内部欠陥（Option）
    特徴：　
    〇半導体用Photomask　Blanks出荷検査、プロセス評価
    〇検査感度： PDM欠陥サイズ0.1μm
    〇微分干渉顕微鏡にて欠陥解析
  • LODAS™ -BI8
    卓上型Photomask欠陥検査装置...

    • 検査対象：PhotomaskBlanks基板、各種Glass Wafer
    検査項目：表面スクラッチ、パーティクル、PD欠陥、PinHole等
    特徴：　
    〇卓上型の普及機。コストパフォーマンスが優れたロングセラー検査機。
    〇表面PD欠陥検査
    〇高感度微分干渉顕微鏡による欠陥分析
  • LODAS™ -LIシリーズ
    FPD Photomask欠陥検査装置 ...

    • 検査対象：FPD　Photomask　Substrate、Cr、Resist　Blanks
    検査項目：表裏面パーティクル、内部欠陥
    特徴：　
    〇A面、B面同時検査。
    〇G10、G8、G6　Size対応可能
    〇微分干渉顕微鏡にて欠陥表裏面欠陥判定・解析

Categories

201 装置、フラットパネルディスプレイ
  • 研削装置
    • 203 装置、検査及び測定
  • ウェーハ：基板測定/トポロジ/ナノトポグラフィ/平坦度測定/結晶方位
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  • 表面測定
  • 顕微鏡：光学顕微鏡
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