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「心と技術で未来をつくるサービス会社」をモットーとして、お客様と共に成長し、歩み続けられるように邁進いたします。
幅広い分野・業種の協力会社と連携し、芝浦エレテック独自のサービスを提供します。
<実機展示>
<モニタ展示>
キノシステム®は、「直感性」と「拡張性」をもち、「スムーズな導入」が可能です。
当社の豊富な製造・リノベーション・メンテナンスの経験と知見から、生産・製造管理をバックアップいたします。
本展示会出展品の『XiNOデータロガー』は、リファレンスとの比較機能に重点を置いた製品です。
その他のご要望にもフレキシブルに対応いたしますので、カスタマイズで様々なことが実現可能です。
作業者がハンドツールを用いて移し替えていた従来の工程を自動化します。
〇自動化することで、手作業でのリスクが低減できます。
・掴み損ねによる落下やキズの付着、ペリクル膜の破損
・人から発生するゴミ、汚れの付着
・人から発生する静電気によるパターン回路の破壊
〇シンプルな操作でカセット間レチクルの移し替えを安全・確実に行います。
〇ご要望に応じ、カスタム対応します
・各種ケースへの対応
・レチクルサイズの変更
・ブロー機能追加 etc.
従来のマスフローコントローラの課題 •デポガス、腐食ガス(Cl2, SiH4等)による目詰まりや0点ずれを防ぎたい •マスフローコントローラのリークをなくしたい •より精度の高い流量制御を達成したい •マスフローコントローラで0.025sccmを制御したい •マスフローコントローラの応答性を改善したい •ガスを高速に切り替えるプロセスへ対応したい •上流側圧、下流側圧の変動によるプロセス影響を改善したい •ガス流量問題発生時、プロセス装置側、マスフローコントローラ側か原因を切り分けたい •マスフローコントローラの機差を改善したい •プロセス装置のガスラインを増やしたい •マスフローコントローラの在庫数を減らしたい etc.
ガスフローコントローラで課題を解決! •広範囲な流量レンジ ⇒ Full Scale 0.5~100% •高精度な流量制御 ⇒ Set Point +/-0.5% •高速な応答性(立ち上り/立ち下り速度) ⇒ ≦100ms@10-100% Full Scale ⇒ ≦300ms@0.5-10% Full Scale •圧力/温度変動の影響を受けない ⇒ キャリブレーション不要 •リアルタイムモニタリング機能 ⇒ 30種以上の内部情報をリアルタイムでモニタリングし、 情報のアウトプット、自己診断機能搭載