天谷製作所へようこそ。常圧CVD装置は連続式・枚葉式・バッジ式をラインナップ、フォトマスク洗浄装置も製造。
【連続式常圧CVD装置 AMAX800V・800V2】
伝統的な連続式CVD装置の生産性をさらに向上した高性能装置です。SiCトレーの採用による重金属汚染低減、トレー搬送速度を従来比の1.5倍に高め、1時間当たり100枚の8インチウェハの処理が可能になりました。
【連続式常圧CVD装置 AMAX1200】
300ｍｍウェハに対応した高スループット型連続式常圧ＣＶＤ装置です。安定した成膜制御性、メンテナンスサイクルの延伸と反応部のクリーニング作業の軽労化を実現。ウェハ裏面スクラッチ対策は大幅に改善。
【枚葉式常圧CVD装置 A200V】
少量多品種から大量生産までカバーする枚葉式常圧CVD装置です。フェイスダウン式成膜方法の採用により優れた膜厚均一性、パーティクル制御、埋め込み性能を発揮します。
【連続式常圧ＣＶＤ装置 Ａ6300Ｓ】
小口径～6インチまでのウェハを処理する大量生産装置です。装置のコンパクト化、重金属汚染対策を施し、1時間当たりの120枚の６インチウェハの処理が可能です。
【スピンタイプ フォトマスク洗浄装置 ＷＵＬＦシリーズ】
高精細に対応したスピンタイプ洗浄装置です。機能水を使用したスピン洗浄ユニットを装備し、高精細・高精度が要求される、フォトマスク/レクチルのハイクリーン化と歩留向上に寄与する装置です。異なる洗浄機能を各チャンバーに設けるインライン方式のため、高スループットも実現しています。