FastMicro社製パーティクル検査装置は対象表面からサンプラーカードを用いて転写した付着パーティクルを測定することにより、効率的なパーティクル検査を可能にした画期的なシステムです！ 普段手の届かない成膜装置の内部からサンプラーカードでパーティクルを採取することにより、これまで清浄度管理が難しかった部品表面についてもパーティクルカウントが可能になりました。またこれまで光学式では測定ができなかったレチクル、ペリクル（EUVペリクル含む）表面などの粗い樹脂膜表面に対しても散乱光を用いることで付着パーティクルの検査を可能にしました！