1.特長
(1)各要素のベアリングやフランジを共通部品にすることによって、コンパクトに設計ができます。
(2)オーバーホール時はユニットごと修理対応致しますので、メンテナンス性に優れます。

2.運用上のメリット
(1)各要素(磁性流体シール､溶接ベローズ､ロータリージョイント)を同一部署で設計している為、スムーズな設計が可能。
(2)弊社がハイブリッドシールユニットで品質保証している為、使用中に異常が発生した場合でも、当社のみで解析が可能。
最短の時間で対応が可能。

キーとなる磁性流体は①磁性微粒子、②界面活性剤、③ベース液の３つの主要構成要素から成り立ちます。そのすべてをNOKグループ内で開発・製造しており、独自の分散技術、界面活性剤調整技術、超低蒸気圧オイル製造技術により他社にない優れた流体を使用した磁性流体シールを提供いたします。

1.磁性流体シールの原理
(1)流体を介在させて大気と真空(あるいは大気)を遮断するシールです。
(2)シール部に摺動箇所を持たない為、摩耗による異物が発生せず、低トルクのシールになります。

2.弊社磁性流体シールの特長
(1)磁性流体の構成要素の①磁性微粒子、②界面活性剤、③ベース液の全てをNOKグループ内で開発･製造している事。
(2)磁性流体の構成要素から製造している為、他社の追随を許さない高温特性、低蒸気圧特性を実現。
    a.雰囲気温度220℃まで対応できます。〔E-01Pa〕
    b.作動排気なしでE-09Pa以下(常温)まで対応できます。
(3)同軸2軸や3軸等の多軸にして、各軸が独立した回転をすることができます。

クリアカルレッツ『8002』『6005』(1)今、グローバルに求められているノンフィラー(無充填)である。
(2)充填剤を含んでいないためパーティクルの発生が極限まで抑えられます。
(3)独自のポリマー技術により無充填でありながら､
　a.酸素及びフッ素系のプラズマに対し非常に優れた耐性を示します。
　b.機械的強度が良く､圧縮歪み特性に優れている。非常に優れたクラック耐性を有している。
　c.250℃までの高温領域で使用出来ます。

1.スペリアF2815
(1)今、グローバルに求められているノンフィラー(無充填)である。
(2)充填剤を含んでいないためパーティクルの発生が極限まで抑えられます。
(3)高いプラズマ耐性を有したドライプロセスに適した高機能フッ素ゴムです。

2.スペリアFP64
(1)FFKM並みの耐酸/耐アルカリ性を有する高機能エラストマー製品です。
(2)重金属を配合していない、半導体ウェットプロセスに適した材質です。

1.PFOA規制対応真空用フッ素グリース

欧州POPs規則によるPFOA規制に対応したフッ素グリースです。豊富なラインナップと採用実績から、お客様のご使用条件に合うグリースをご提供いたします。

2.極低アウトガスグリース

グリース中の低分子量成分を除去し、アウトガスの発生を抑えています。金属元素を含有せず、コンタミに配慮されたラインで製造しています。